检测项目

1.离子残留分析：氯离子、氟离子、溴离子、硫酸根离子、钠离子、钾离子、铵根离子等。

2.有机污染物检测：有机酸残留、溶剂残留、塑化剂残留、硅油残留、光刻胶残留等。

3.金属元素残留检测：铝、铜、铁、镍、锌、锡、铅、金等金属杂质含量。

4.颗粒污染度测试：表面颗粒尺寸分布、单位面积颗粒数量、颗粒化学成分分析。

5.表面有机碳含量：总有机碳含量测定，评估表面清洁度。

6.氧化物与氮化物残留：检测硅片表面非预期的氧化层或氮化层厚度与成分。

7.焊剂残留物分析：松香残留、活化剂残留、焊接后免清洗焊剂的离子电导率。

8.晶圆背面污染：背面颗粒、背面金属污染、背面膜层残留。

9.封装材料析出物：环氧模塑料析出的离子、胶粘剂挥发性有机物。

10.洁净室环境污染物监控：空气分子污染物、沉降微粒的化学组成。

11.电化学迁移倾向测试：在特定温湿度条件下评估残留离子诱发枝晶生长的风险。

12.表面能及接触角测试：间接评估表面污染与清洁效果对后续工艺的影响。

检测范围

硅晶圆、芯片裸片、焊球阵列封装器件、芯片级封装器件、方形扁平式封装器件、薄型小尺寸封装器件、系统级封装模块、引线框架、陶瓷封装外壳、塑料封装体、晶圆级封装中间品、倒装芯片凸点、键合丝、晶圆背面涂层、封装用环氧树脂颗粒、晶圆切割胶带、临时键合胶、芯片贴装材料

检测设备

1.离子色谱仪：用于精确分离和定量检测芯片表面萃取液中的阴离子和阳离子残留；具备高灵敏度和低检出限。

2.气相色谱质谱联用仪：用于分析挥发性与半挥发性有机污染物残留；可对复杂有机物进行定性与定量。

3.电感耦合等离子体质谱仪：用于超痕量金属元素残留的检测；具有极低的背景干扰和广泛的元素覆盖范围。

4.扫描电子显微镜配合能谱仪：用于观察表面微观形貌并对微区颗粒或污染物进行元素成分定性分析。

5.总有机碳分析仪：专门用于测量芯片清洗后表面或清洗液中溶解性的有机碳总量，评估清洁效率。

6.原子力显微镜：用于纳米尺度表征表面粗糙度及污染物分布，提供三维形貌信息。

7.傅里叶变换红外光谱仪：通过分子指纹图谱识别表面有机污染物、聚合物残留或化学膜层的官能团结构。

8.俄歇电子能谱仪：用于表层数纳米深度内的元素成分定性与半定量分析，特别适用于轻元素检测。

9.颗粒计数器：用于统计液体或气体中颗粒的数量与尺寸分布，评估洁净工艺水平。

10.接触角测量仪：通过测量液体在芯片表面的接触角来间接评估表面清洁度与自由能变化。