可送检的样品类型与对应检测项目

样品类型 典型应用场景 主要检测项目 常用方法 / 参考
光刻胶回流微透镜阵列 半导体图像传感器、光互连、激光准直 单元直径、矢高、面型精度、焦距一致性、与基准标记对准偏差 白光干涉轮廓法、显微成像与图像分析法
玻璃模压微透镜阵列 手机摄像模组、红外测温、激光匀光 面形保真度、表面疵病、崩边、透过率、折射率均匀性 激光干涉法、分光光度法、金相显微观察
聚合物微透镜阵列 裸眼三维显示、背光模组、微型投影 填充因子、单元间一致性、行列角度偏差、材料黄变 显微轮廓扫描、光学传递函数测试
熔融石英微透镜阵列 紫外激光匀光、光刻照明系统 波前差、匀光均匀性、激光损伤阈值、紫外波段透过率 干涉波前测量、紫外分光光度法
硅基与蓝宝石微透镜 红外探测器、光纤耦合、气体传感 有效焦距、数值孔径、同轴度、红外波段透过率 平行光管聚焦测量、显微红外成像
光纤端面微透镜 光纤激光器尾纤、光通信耦合模块 工作距离、耦合效率、端面几何参数、角度偏差 光纤耦合效率测试、端面干涉检测
晶圆级微透镜堆栈 摄像模组、结构光投射、增强现实光波导 层间对准精度、组合焦距、总透过率、环境可靠性 影像测量对准分析、高低温环境试验

检测项目

1. 几何参数：单元直径10至1000微米，阵列间距偏差不大于正负2微米，矢高0.5至150微米

2. 面型精度：峰谷值不大于0.5倍波长，均方根不大于0.1倍波长，轮廓边缘塌边不大于1微米

3. 焦距与数值孔径：有效焦距20微米至10毫米，数值孔径0.05至0.6，焦距偏差不大于正负百分之二

4. 阵列一致性：单元间焦距极差不大于百分之三，填充因子不低于百分之九十

5. 对准精度：阵列与基准标记对准偏差不大于正负5微米，行列角度偏差不大于0.1度

6. 表面疵病与透过率：划痕麻点按GB/T 1185-2006评级，可见波段镀膜后透过率不低于百分之九十八

检测范围

1. 光刻胶回流微透镜阵列：紫外胶与热回流工艺，方形、圆形、六边形排布

2. 玻璃模压微透镜阵列：光学玻璃与硫系玻璃，可见光与红外系列

3. 聚合物微透镜阵列：PMMA、PDMS与COC材料，注塑与压印成型

4. 熔融石英微透镜阵列：紫外高功率激光匀光与光刻照明用途

5. 硅基与蓝宝石微透镜：红外波段单元透镜与光纤耦合透镜

6. 光纤端面微透镜：单模与多模光纤研磨、热熔及光刻成型端面透镜

检测方法

1. GB/T 1185-2006 光学零件表面疵病

2. GB/T 13323-2009 光学制图

3. ISO 10110-5:2015 光学与光学子系统制图 第5部分表面形状公差

4. GB/T 1958-2017 产品几何技术规范 几何公差检测与验证

5. GB/T 2423.1-2008 电工电子产品环境试验 低温试验方法

6. GB/T 2423.2-2008 电工电子产品环境试验 高温试验方法

检测设备

1. 白光干涉轮廓仪：垂直分辨率0.1纳米，扫描范围10毫米乘10毫米

2. 激光干涉仪：面形测量精度峰谷值0.05倍波长，通光口径100毫米

3. 焦距测量系统：平行光管焦距1000毫米，配高分辨率科学级相机

4. 光学传递函数测试系统：空间频率0至200线对每毫米

5. 影像测量仪：行程400毫米乘300毫米，测量精度1.5微米

6. 金相显微镜：放大倍率50至1000倍，明暗场双照明

7. 紫外可见分光光度计：波长190至1100纳米，光谱带宽1纳米

8. 探针式台阶仪：垂直分辨率1纳米，量程1毫米

9. 高低温试验箱：温度范围负70至150摄氏度，波动度正负0.5摄氏度

10. 自动对准检测系统：重复定位精度正负1微米，配视觉定位模块