可送检的样品类型与对应检测项目

样品类型典型应用场景主要检测项目常用方法 / 参考
CMOS图像传感器芯片手机摄像、车载感知、机器视觉相机坏点与缺陷像素分级、暗电流缺陷、响应不均匀性、固定模式噪声、量子效率EMVA 1288 R3.1图像传感器与相机图像质量表征方法
CCD图像传感器科学成像、光谱采集、弱光探测相机电荷转移效率、暗电流、热斑、缺陷行列、读出噪声EMVA 1288 R3.1与传感器级晶圆测试规范
LCD显示面板手机屏、笔记本屏、工控显示屏亮点、暗点、线缺陷、亮度不均匀斑、色度偏差ISO 9241-307:2008电子视觉显示缺陷分级评定
OLED显示面板手机屏、车载屏、可穿戴显示器件亮度衰减差异、影像残留、微缺陷、色斑、灰阶跳变ISO 9241-307:2008与老化后缺陷复检流程
摄像模组手机、车载、安防监控成像模组脏污与阴影、眩光、分辨率、坏点映射、色彩还原ISO 12233:2017分辨率与空间频率响应测量
工业数字相机产线外观检查、尺寸测量、物流分拣噪声、动态范围、灰阶线性度、坏点校正残留EMVA 1288 R3.1与ISO 15739:2013噪声测量
数字射线平板探测器铸件、焊缝内部缺陷数字射线成像坏像素分布、影像残留、探测效率、均匀性漂移探测器出厂缺陷图评定与定期复检制度

检测项目

1. 缺陷像素分级：按1级、2级、3级评定，每百万像素缺陷数不大于50个，簇状缺陷间距不小于5毫米

2. 暗电流缺陷：25℃与60℃双温度点暗场采集，暗电流密度以皮安每平方厘米量级评定，缺陷像素逐点标记

3. 响应不均匀性：暗信号非均匀性与光电响应非均匀性以百分比表征，光响应非均匀性不大于5%

4. 亮度不均匀斑：低灰阶下整面亮度分布测量，面内亮度差不大于10%，色度差不大于0.02

5. 分辨率与空间频率响应：斜边法测量，奈奎斯特频率处调制度不低于30%

6. 影像残留：全白场激励后残留亮度衰减至初始值的0.5%以下判定合格

检测范围

1. 图像传感器件：CMOS与CCD图像传感器晶圆、裸片与封装芯片

2. 显示面板：LCD、OLED、Mini LED与电子纸显示屏

3. 摄像模组：手机、车载、安防与机器视觉摄像模组

4. 工业相机：面阵与线阵工业数字相机、智能视觉相机

5. 数字射线探测器：非晶硅与CMOS平板探测器、线阵扫描探测器

检测方法

1. EMVA 1288 R3.1 图像传感器与相机图像质量表征方法，涵盖暗电流、噪声、缺陷像素与响应不均匀性

2. ISO 12233:2017 摄影电子静像成像分辨率与空间频率响应测量

3. ISO 15739:2013 电子静像成像噪声测量方法

4. ISO 14524:2009 电子静像成像灰阶转换函数与光电转换特性测量

5. ISO 9241-307:2008 电子视觉显示分析与符合性测试方法，含像素缺陷分级

6. GB/T 18910.1-2007 液晶和固态显示器件第1部分总规范

检测设备

1. 晶圆级图像传感器测试系统：探针定位精度±1微米，微电流测量分辨率0.1皮安

2. 成像亮度色度计：空间分辨率800万像素，亮度测量精度±2%，色度坐标重复性±0.002

3. 标准光源积分球系统：色温2856K与D65光源可切换，出口面均匀性优于99%

4. 全自动光学缺陷检测机：缺陷识别尺寸2微米，单晶圆检测节拍不大于5分钟

5. 空间频率响应测试系统：含斜边与星形测试卡，调制度测量范围0至1，精度±2%

6. 高低温试验箱：温度范围-40至150℃，温度波动度±0.5℃

7. 暗室光电测试平台：环境照度低于0.01勒克斯，配电磁屏蔽与隔振基座

8. 体视显微镜：放大倍数7至90倍，带缺陷定位标尺与图像记录装置

9. 图像质量分析软件工作站：支持坏点映射、非均匀性分析与噪声谱统计

10. 平板探测器校准模体：阶梯厚度设计与影像残留评定用灰阶模体