可送检的样品类型与对应检测项目
| 样品类型 | 典型应用场景 | 主要检测项目 | 常用方法 / 参考 |
|---|---|---|---|
| 晶圆级微透镜阵列（WLO） | 玻璃模压、光刻胶回流、刻蚀熔石英晶圆的出货批次复检与换批复验 | 焦距复测偏差、面形PV/RMS复检、阵列填充因子、对准偏差、崩边与颗粒 | 白光干涉轮廓仪与激光干涉仪复测；GB/T 2828.1-2012计数抽样；GB/T 13323-2009光学制图公差判读 |
| 聚合物微透镜（PMMA、PDMS、COC） | 注塑与模压阵列的库存定期复验、吸湿与老化后复检 | 焦距漂移、透过率降幅、表面疵病复评级、曲率半径变化、黄变指数 | 平行光管焦距复测；紫外可见分光光度计复测；GB/T 1185-2006表面疵病评级 |
| 光纤端面微透镜 | 球端、斜端与GRIN光纤的来料复检（IQC复核） | 曲率半径、工作距离、同心度、端面疵病、插损回检 | 干涉轮廓复测与光纤对准复测；GB/T 15972.10纤维光学试验方法导则（按行业通行现行引用） |
| 模组内嵌微透镜 | VCSEL准直阵列、ToF扩散片、背光模组的量产周期复检与CPK复核 | 光斑均匀性、耦合效率、阵列角度偏差、MTF复测、批次过程能力 | 光学传递函数测试；GB/T 17989-2020控制图做SPC趋势复核 |
| 红外微透镜（硅基、硫系玻璃、蓝宝石） | 工艺变更复验与争议批次仲裁复检 | 工作波段焦距、红外面形、红外透过率、镀膜反射率复检 | 红外干涉仪与傅里叶红外光谱仪复测；ISO 10110-5:2015表面形状公差 |
检测项目
1. 焦距复测偏差：有效焦距20μm-10mm复测与首检偏差≤±2%，数值孔径NA复测偏差≤±0.02
2. 面形精度复检：PV≤0.5λ、RMS≤0.1λ（λ=632.8nm），同单元复测PV极差≤0.05λ
3. 阵列一致性复检：单元间焦距极差≤3%，填充因子≥90%，批次CPK≥1.33判过程受控
4. 对准精度复检：与基准标记偏差≤±5μm，行列角度偏差≤0.1°，复验合格率≥99%
5. 透过率与疵病复检：可见波段镀膜透过率≥98%复测降幅≤0.5%，划痕麻点按GB/T 1185复评级不降级
6. 抽样与判定：按GB/T 2828.1 AQL 0.65-1.0确定样本量与接收数，争议批次切换加严检验一次抽样
检测范围
1. 晶圆级微透镜阵列：玻璃模压WLO、光刻胶回流、刻蚀熔石英，晶圆尺寸100-300mm
2. 聚合物微透镜：PMMA、PDMS、COC材质的模压与注塑阵列
3. 光纤端面微透镜：球端光纤、斜端8°磨抛光纤、GRIN透镜棒
4. 模组内嵌微透镜：VCSEL准直阵列、ToF扩散片、背光与图像传感器配套阵列
5. 红外微透镜：硅基、硫系玻璃、蓝宝石衬底，工作波段2.5-25μm
检测方法
1. GB/T 2828.1-2012 计数抽样检验程序 第1部分：按接收质量限（AQL）检索的逐批检验抽样计划，用于复检样本量与接收数确定
2. GB/T 1185-2006 光学零件表面疵病，用于划痕麻点复检与复评级
3. GB/T 13323-2009 光学制图，用于复检公差项目与图纸判读依据核对
4. ISO 10110-5:2015 光学制图 第5部分：表面形状公差，用于面形复检合格判定
5. GB/T 17989-2020 控制图，用于逐批复检数据的SPC趋势与过程能力复核
6. JJF 1059.1-2012 测量不确定度评定与表示，用于仲裁复检差值的不确定度评定
检测设备
1. 白光干涉轮廓仪：垂直分辨率0.1nm，横向分辨率1μm，矢高与曲率半径复测
2. 激光干涉仪：632.8nm氦氖光源，面形PV分辨率λ/1000，面形复检比对
3. 平行光管焦距测量系统：焦距复测精度±0.5%，配十字分划板与CCD读数
4. 光学传递函数（MTF）测试仪：空间频率0-200lp/mm，模组光斑与成像质量复测
5. 影像测量仪：测量精度(1.5+L/200)μm，对准偏差与阵列间距复检
6. 紫外可见分光光度计：波长190-1100nm，波长精度±0.1nm，透过率复测
7. 傅里叶红外光谱仪：波段2.5-25μm，红外微透镜透过率与反射率复测
8. 金相显微镜：放大倍率50-1000×，表面疵病与崩边复检
9. 激光共聚焦显微镜：横向分辨率0.2μm，三维轮廓与台阶高度复检
10. 恒温恒湿状态调节箱：温度23±2℃、湿度50±5%RH，复检前样品状态调节