可送检的样品类型与对应检测项目

样品类型 典型应用场景 主要检测项目 常用方法 / 参考
镀铬玻璃网格标定板 机器视觉相机内外参标定、工业镜头畸变校正、影像测量系统验收 网格节距偏差、栅线直线度、网格正交性、图案面位置偏差、铬膜厚度 影像测量仪比对；激光干涉仪长度溯源；GB/T 16857.2-2017
圆点阵列标定板 面阵相机内参标定、摄影测量、双目立体视觉系统装调 圆心间距偏差、圆度、点阵位置度、阵列累计误差 影像测量仪；亚像素圆心提取算法核查
石英基畸变靶 高温环境视觉检测、半导体量测设备、晶圆对准系统 节距温度系数、热稳定性尺寸漂移、基板平面度、刻线边缘粗糙度 激光干涉仪加温度循环试验；白光干涉形貌测量
电视综合测试卡图卡 广播电视摄像机几何指标验收、监视器线性度检查 几何失真率、网格等分偏差、边缘畸变带、幅面比例偏差 影像比对法；标准网格板传递比对
内窥镜畸变评价靶 硬性及软性内窥镜成像畸变评价、工业孔探摄像头质检 网格等分偏差、径向畸变量、同心度、边缘清晰带宽度 影像测量法；内窥镜成像质量相关行业标准的通用要求
车载与鱼眼镜头畸变测试卡 环视相机标定、全景拼接镜头、安防广角镜头畸变评价 径向畸变量、网格直线弯曲度、视场角标记偏差 影像比对法；单应矩阵反算核查

检测项目

1. 网格节距偏差：标称节距0.5-10mm，极限偏差±0.5μm至±3μm

2. 栅线直线度：任意100mm行程内不大于1μm，全幅不大于3μm

3. 网格正交性：相邻栅线夹角控制在90°±0.02°至90°±0.1°

4. 基板平面度：光学平板级不大于λ/2（约0.32μm），常规镀铬玻璃不大于5μm

5. 图案面位置坐标偏差：中心区不超过±2μm，边缘区不超过±3μm

6. 尺寸温度系数：以20℃为基准，硼玻璃约11×10⁻⁶/℃，石英约0.5×10⁻⁶/℃

检测范围

1. 镀铬玻璃标定板：幅面50×50mm至600×600mm，铬膜厚度50-150nm

2. 圆点阵列板：点径0.1-5mm，阵列规模64×64至512×512

3. 石英基畸变靶：热膨胀系数不大于0.6×10⁻⁶/℃，使用温度可达500℃

4. 纸质与灯箱测试卡：A4至A0幅面，整体几何失真不大于0.1%-0.5%

5. 内窥镜畸变靶：格宽0.5-2mm，适配工作距10-100mm

检测方法

1. GB/T 16857.2-2017 产品几何技术规范（GPS） 坐标测量机（CMM）的验收检测和复检检测 第2部分：用于测量线性尺寸的坐标测量机

2. GB/T 1958-2017 产品几何技术规范（GPS） 几何公差 检测与验证

3. JJF 1059.1-2012 测量不确定度评定与表示

4. ISO 10360-2:2009 坐标测量机验收检测与复检检验 第2部分：线性尺寸测量

5. 激光干涉仪溯源比对法：以稳频氦氖激光波长为长度基准，对影像测量系统节距示值进行校准与修正

检测设备

1. 激光干涉仪（XL-80型）：线性测量精度±0.5ppm，分辨率1nm，量程80m

2. 三坐标测量机（CONTURA型）：示值误差MPE E0=(1.5+L/333)μm，配扫描测头

3. 影像测量仪（iNEXIV型）：行程500×500×300mm，示值误差(1.5+L/200)μm

4. 工具显微镜（VMS-3020H型）：放大倍率30X-190X，工作台行程300×200mm

5. 激光共聚焦显微镜（OLS5100型）：Z向分辨率0.01μm，测刻线形貌与膜厚

6. 白光干涉仪：垂直分辨率0.1nm，测铬膜台阶高度与边缘粗糙度

7. 数字自准直仪（TA80型）：分辨率0.01角秒，测基板平面度与直线度传递

8. 00级大理石平台：平面度不大于3μm/1000mm，提供基准支撑面

9. 恒温恒湿实验室：温度20±0.5℃，湿度45%-60%RH，温度梯度不大于0.5℃/m

10. 高精度温度循环箱：-40℃至150℃，用于畸变靶热稳定性尺寸漂移测试