可送检的样品类型与对应检测项目

样品类型 典型应用场景 主要检测项目 常用方法 / 参考
USAF 1951型玻璃铬版分辨率板 机器视觉镜头、相机模组、望远镜与显微镜产线分辨率标定 空间频率标定（1.0-228 lp/mm）、线对宽度偏差、明暗光学密度、基板平面度、图案位置度 GB/T 4315.2-2009 光学传递函数测量导则；影像测量仪直接测量换算
ISO 12233反射式测试卡 手机摄像头、数码相机、安防监控相机整机成像评价 视觉分辨率、双斜棱空间频率响应、星形与楔形图案几何精度、面反射率均匀性 ISO 12233:2017 分辨率与空间频率响应测量；显微密度计多点密度校验
红外分辨率靶标 工业检测型红外热像仪、安防热像模组空间分辨率评价 四杆靶周期尺寸、刃边靶几何、配套黑体温差设定、最小可分辨温差验证 GB/T 19870-2018 工业检测型红外热像仪
医用影像线对测试卡 X射线机、CR/DR系统、医用内窥镜影像质量验收 极限分辨率（0.6-10 lp/mm）、对比度再现、几何畸变 YY/T 0106-2021 医用诊断X射线设备；GB/T 21355-2022 CR系统分类
显微分划板与测微尺 显微镜、图像分析系统放大率与尺寸校准 分划线宽、刻线间距（0.01毫米级）、放大率误差、单向位置偏差 工具显微镜比对测量；激光干涉仪面形核查
扫描仪分辨率测试卡 平板扫描仪、胶片扫描仪有效分辨率评价 有效空间频率、刃边响应、灰阶反射率一致性 扫描仪空间频率响应测量相关国际标准；显微密度计灰阶校验
定制光刻靶标与掩膜基板 半导体检测、科研定制图案、光学平台装调 线边缘粗糙度、铬膜膜厚、面形误差、线宽均匀性 台阶仪膜厚测量；激光干涉仪平面度评价（632.8纳米）

检测项目

1. 空间频率标定：覆盖1.0-228 lp/mm，线对宽度实测偏差控制在±5%以内

2. 明暗光学密度：高对比板暗区OD值不小于2.0，亮区OD值不大于0.05

3. 低对比等级：6:1、4:1、2:1调制等级图案密度一致性校验

4. 基板平面度：玻璃基板面形误差不大于四分之一波长（632.8纳米）

5. 线对尺寸加工精度：光刻铬版线宽精度±0.5微米，图案位置度±2微米

6. 斜棱边空间频率响应：频率覆盖0-100 lp/mm，MTF50典型评价区间10-80 lp/mm

检测范围

1. USAF 1951型分辨率板：正片与负片、玻璃铬版与明胶版，含组0至组7全频率段

2. ISO 12233测试卡：标准型与增强型，4:3与16:9幅面，含星形、楔形与双斜棱图案

3. 红外分辨率靶标：3-5微米与8-14微米波段四杆靶、刃边靶及温差条纹靶

4. 医用影像测试卡：X射线线对卡、CR/DR分辨率卡、内窥镜分辨力靶

5. 显微分划板与测微尺：0.01毫米级分划、十字分划板、网格分划板

6. 定制光刻靶标：半导体检测用线宽标准板、棋盘格与方形波图案靶

检测方法

1. GB/T 4315.2-2009 光学传递函数 第2部分：测量导则

2. GB/T 13742-2009 光学传递函数测量准确度

3. ISO 12233:2017 照相 电子静像成像 分辨率与空间频率响应测量

4. GB/T 19870-2018 工业检测型红外热像仪（含空间分辨率与温差评价）

5. YY/T 0106-2021 医用诊断X射线设备（含成像分辨率验证）

检测设备

1. 影像测量仪：量程0-200毫米，测量精度±(2+L/100)微米，用于线对宽度与位置度

2. 工具显微镜：总放大倍率30-1500倍，分辨率1微米，用于分划线与刻线间距

3. MTF测试机：空间频率0-200 lp/mm，用于传递函数曲线验证

4. 激光干涉仪：工作波长632.8纳米，面形评价精度达二十分之一波长

5. 显微密度计：光斑最小2微米，密度范围0-4D，用于图案密度分布

6. 分光光度计：波长范围190-1100纳米，透反射光学密度测量

7. 台阶仪：纵向分辨率0.1纳米，量程1毫米，用于铬膜膜厚

8. 平行光管：焦距550毫米，口径55毫米，模拟无穷远成像条件

9. 积分球均匀光源：出光口面均匀性不低于98%，照明条件复现

10. 恒温实验室环境控制系统：温度20±0.5℃，降低热膨胀引入的线宽漂移