可送检的样品类型与对应检测项目

样品类型 典型应用场景 主要检测项目 常用方法 / 参考
网格畸变测试卡 手机摄像头模组主动对准工艺、镜头畸变评价与图像算法标定 网格节距尺寸偏差、节点坐标位置度、线宽及其均匀性、正交性偏差 二次元影像测量仪比对标准玻璃线纹尺；ISO 9039畸变测定配套目标
点阵畸变测试卡 定焦与变焦镜头出厂检验、相机模组装调、视觉系统标定 点中心坐标偏差、点径一致性、阵列排布节距误差、黑区白区对比度 影像测量仪配合质心提取算法逐点评定
电视综合测试图卡 电视机与显示器几何失真、扫描线性、图像幅面比例检查 格子线宽度、圆环圆度、有效幅面比例、灰度级还原 电视测量测试图通用技术条件；投影放大测量与影像测量复核
光学畸变目标板 光学镜头研制、来料检验与出厂检定、成像质量实验室评价 节距精度、基面平面度、铬层线宽、反射率均匀性 万能工具显微镜与三坐标测量机几何量计量
定制畸变校准板 计量实验室期间核查、影像测量设备校准与量值溯源 尺寸复现性、热尺寸稳定性、反射均匀性、坐标转换一致性 恒温环境几何量计量，按JJF 1059.1-2012评定测量不确定度

检测项目

1. 网格节距尺寸偏差：标称节距0.1-5毫米，最大允许误差±2-10微米

2. 节点位置坐标偏差：全幅面位置度不大于0.02毫米

3. 线宽与线宽均匀性：铬层线宽5-100微米，面内不均匀性不超过±5%

4. 几何畸变率校验：TV畸变与SMIA TV畸变评定范围±10%

5. 基面平面度：玻璃基板平面度不超过0.05毫米每100毫米

6. 黑白对比度与反射均匀性：白区反射率不低于85%，面内不均匀性不超过±3%

检测范围

1. 网格畸变测试卡：节距0.1、0.5、1、2、5毫米系列，4:3与16:9幅面

2. 点阵畸变测试卡：点径0.05-1毫米，矩形与三角排布多种阵列规格

3. 电视综合测试图卡：含格子、圆环、灰度尺的成像质量测试图系列

4. 光学畸变目标板：浮法玻璃或石英基材，铬版与乳白版两种工艺

5. 定制畸变校准板：幅面不大于600毫米×600毫米的光刻或机打测试板

检测方法

1. ISO 9039:2008 光学和光子学 光学系统质量评价 畸变的测定

2. GB/T 16857.2-2018 产品几何技术规范(GPS) 坐标测量机的验收检测和复检检测 第2部分：用于测量线性尺寸的坐标测量机

3. GB/T 18779.1-2018 产品几何量技术规范(GPS) 工件与测量设备的测量检验 第1部分：按规范检验合格或不合格的判定规则

4. JJF 1059.1-2012 测量不确定度评定与表示

5. EMVA 1288 r3.1 机器视觉相机图像质量与传感器特性表征方法（含几何畸变评定项）

检测设备

1. 二次元影像测量仪：行程300×200毫米，示值误差(1.5+L/200)微米

2. 万能工具显微镜：行程200×100毫米，最小分度值0.5微米

3. 三坐标测量机：最大允许示值误差1.9+L/300微米

4. 激光干涉仪：分辨率0.001微米，用于导轨定位误差标定

5. 线宽测量仪：线宽测量不确定度不大于0.05微米

6. 白光干涉表面轮廓仪：纵向分辨率0.1纳米，用于线边缘与台阶评定

7. 分光光度计：波长范围380-780纳米，反射率测量

8. 大理石平板与扭簧比较仪：平面度检测分度值0.001毫米

9. 恒温计量环境：温度20±0.5℃，相对湿度45%-60%

10. 标准玻璃线纹尺：刻线间距1毫米，扩展不确定度0.5微米（k=2）