检测项目

1.元素定性分析：硅元素识别，金属导体元素识别，介质层元素识别，封装材料元素识别，污染元素识别。

2.元素定量分析：主量元素含量测定，微量元素含量测定，痕量杂质含量测定，表层元素含量测定，局部区域元素比例测定。

3.杂质元素分析：金属杂质筛查，非金属杂质筛查，卤素残留分析，氧化杂质分析，异常掺杂成分分析。

4.表面元素分析：芯片表面成分测定，氧化层元素分析，沾污残留分析，腐蚀产物分析，清洗后表面元素评估。

5.微区元素分析：焊盘区域元素分析，键合区元素分析，裂纹边缘元素分析，失效点局部元素分析，异物颗粒元素分析。

6.薄层成分分析：金属薄层元素组成，钝化层元素组成，介质薄膜元素组成，阻挡层元素分析，多层结构界面成分分析。

7.深度分布分析：表层至内部元素分布，镀层深度成分变化，扩散层元素变化，界面过渡区成分分析，层间元素迁移分析。

8.封装相关元素分析：引线框架成分分析，焊料元素分析，塑封料元素分析，粘结材料元素分析，端子表面镀层成分分析。

9.失效关联元素分析：电迁移相关元素变化，腐蚀失效成分分析，过热区域元素变化，短路异物元素鉴别，开路部位成分异常分析。

10.有害限制元素筛查：铅含量筛查，镉含量筛查，汞含量筛查，六价铬相关元素筛查，受限卤素元素筛查。

11.来料一致性分析：晶圆材料成分比对，金属层成分一致性评估，封装材料批次成分比对，焊接材料成分稳定性分析，供应样品元素偏差分析。

12.异物与污染源分析：颗粒异物元素鉴别，残留物来源分析，加工污染成分判定，环境沉积物元素分析，表面附着物成分分析。

检测范围

裸芯片、晶圆、切割芯片、逻辑芯片、存储芯片、功率芯片、传感芯片、射频芯片、模拟芯片、数模混合芯片、封装芯片、引线框架、焊球、焊点、键合丝、金属焊盘、钝化层、介质薄膜、塑封材料、芯片表面异物

检测设备

1.扫描电子显微镜：用于观察芯片表面形貌、缺陷特征及微区位置，为局部元素分析提供形貌基础。

2.能谱分析仪：用于芯片表面及微区元素定性与半定量分析，适合异物、裂纹边缘和局部异常区域成分识别。

3.波谱分析仪：用于提高元素分析分辨能力，适合复杂多元素体系中相近元素的精细识别与含量判定。

4.光电子能谱仪：用于分析芯片表层元素组成及化学状态，适合氧化层、污染层和表面处理层研究。

5.离子质谱仪：用于微量元素、痕量杂质及深度方向元素分布分析，适合薄层结构和扩散行为研究。

6.荧光光谱仪：用于快速筛查样品中的多种元素组成，适合来料检测与有害限制元素初步分析。

7.电感耦合等离子体发射光谱仪：用于测定样品中多种金属元素含量，适合批量样品的定量分析。

8.电感耦合等离子体质谱仪：用于超痕量元素检测，适合高纯材料、杂质控制和异常元素追踪分析。

9.聚焦离子束仪：用于微区截面制备和特定位置加工，便于开展层间界面及失效点元素分析。

10.显微拉曼光谱仪：用于辅助识别局部材料组成与变化特征，可用于分析污染物、反应产物及局部结构异常。