检测项目

1.表面颗粒检测：表面颗粒数量，颗粒尺寸分布，颗粒附着状态，颗粒覆盖密度

2.金属杂质分析：金属元素种类，金属残留含量，局部富集情况，迁移污染特征

3.非金属杂质分析：氧化物残留，碳基污染物，无机盐残留，非金属沉积物

4.有机污染物检测：有机残留物，助剂残留，清洗残留，挥发性污染物

5.离子污染检测：可溶性离子含量，阴离子残留，阳离子残留，离子洁净度

6.晶圆表面洁净度检测：表面污染程度，微粒分布，清洁均匀性，局部污染区域识别

7.薄膜层杂质检测：薄膜夹杂物，沉积杂质，界面污染，膜层纯净度

8.封装材料杂质检测：封装料颗粒杂质，填料异常物，界面异物，固化残留物

9.引线与焊点污染分析：焊点异物，金属沾污，氧化残留，连接部位杂质附着

10.截面缺陷与夹杂分析：内部夹杂，孔隙伴生杂质，分层处污染物，截面异物形貌

11.化学残留检测：蚀刻残留，清洗液残留，腐蚀副产物，反应残余物

12.失效相关杂质溯源：异常颗粒来源识别，污染路径分析，杂质成分比对，失效点污染关联分析

检测范围

硅片、晶圆、裸片、集成电路芯片、存储芯片、逻辑芯片、功率芯片、传感器芯片、射频芯片、模拟芯片、数模混合芯片、封装芯片、引线框架、焊球、键合线、封装基板、芯片焊点、切割后芯片、失效芯片、返修芯片

检测设备

1.光学显微镜：用于观察芯片表面颗粒、划痕、异物及污染分布，适合进行初步形貌检查。

2.电子显微镜：用于高倍观察微小杂质、表面缺陷和截面结构，可识别细微异物形貌特征。

3.能谱分析仪：用于分析杂质的元素组成，辅助判断金属残留、无机颗粒及污染物来源。

4.表面形貌测量仪：用于测定表面粗糙度、微区起伏和颗粒附着状态，评估表面洁净情况。

5.离子污染测试仪：用于测定可溶性离子残留水平，评估芯片及相关部件的离子洁净度。

6.红外分析仪：用于识别有机残留物、聚合物污染及部分化学残余成分，辅助杂质定性分析。

7.拉曼分析仪：用于分析微区污染物的分子结构信息，适合识别颗粒杂质和表面残留物。

8.热分析仪：用于评估封装材料中异常夹杂或残留物对热稳定性的影响，辅助判断杂质特征。

9.截面制样设备：用于制备芯片及封装样品截面，便于观察内部夹杂、分层污染和界面异物。

10.洁净度检测装置：用于统计样品表面颗粒数量、尺寸及分布情况，支持洁净水平评估。