检测项目

1.表面平整度检测：整体平整度，局部平整度，面内高度差，表面起伏度

2.翘曲度检测：芯片翘曲，晶圆翘曲，封装体翘曲，基板翘曲

3.厚度均匀性检测：芯片厚度均匀性，晶圆厚度分布，减薄区域一致性，边缘厚度变化

4.表面粗糙度检测：表面粗糙度参数，微观峰谷高度，轮廓起伏特征，局部纹理均匀性

5.共面性检测：引脚共面性，焊盘共面性，凸点高度一致性，接触面共面偏差

6.尺寸形貌检测：表面轮廓形貌，边缘形貌，台阶高度，凹坑深度

7.键合区域平整度检测：键合面平整度，焊接区高度差，贴装面平整性，连接区域起伏

8.缺陷形貌检测：划痕深度，压痕形貌，颗粒突起高度，局部塌陷特征

9.应力变形检测：热处理后变形，封装后形变，工艺应力引起的弯曲，循环载荷后表面变化

10.边缘区域平整度检测：边缘翘起，边缘厚度波动，切割区形貌，边角平整性

11.层间界面形貌检测：层间高度差，界面起伏，覆盖层均匀性，沉积面平整性

12.装配适配性检测：贴装平面适配性，接触区域匹配度，装联面高度一致性，组装界面平整特征

检测范围

集成电路晶圆、减薄晶圆、裸芯片、切割芯片、封装芯片、引线框架封装体、球栅阵列封装体、方形扁平封装体、晶圆级封装体、倒装芯片、芯片载板、封装基板、金属引脚、焊盘结构、凸点结构、重布线层样品、硅片样品、化合物半导体芯片、多层封装样品、微电子组装件

检测设备

1.白光干涉仪：用于获取样品表面三维形貌与微小高度差，适合平整度、粗糙度及局部起伏分析。

2.激光共聚焦显微镜：用于观测表面微观轮廓与形貌特征，可进行非接触式高度测量与缺陷定位。

3.表面轮廓仪：用于测定样品线性轮廓、台阶高度及表面起伏，适合厚度变化和边缘形貌分析。

4.三维形貌测量仪：用于建立表面空间高度分布数据，评估整体平整度、局部变形及面形一致性。

5.光学显微镜：用于观察表面缺陷、划痕、压痕及颗粒分布，为平整度异常区域分析提供图像依据。

6.测厚仪：用于检测芯片、晶圆及相关载体的厚度数值与分布情况，辅助评价厚度均匀性。

7.坐标测量仪：用于获取样品关键位置的空间坐标数据，可分析共面性、翘曲度及几何偏差。

8.原子力显微镜：用于检测纳米尺度表面粗糙度与微观峰谷特征，适合精细表面形貌研究。

9.翘曲度测试仪：用于测量样品受工艺或热载荷影响后的弯曲变形程度，适合封装件形变评估。

10.工业显微成像系统：用于对样品表面进行高分辨率成像与区域比对，辅助识别局部不平整与形貌异常。