电子特气检测

检测项目

纯度分析：

• 主成分含量：目标气体体积分数≥99.999%（参照SEMIC3.61）
• 总杂质浓度：非目标组分总量≤10ppm（含惰性气体）

金属杂质检测：

• 碱/碱土金属：Na、K、Ca≤0.05ppb（ICP-MS法）
• 过渡金属：Fe、Ni、Cr≤0.1ppb（参照SEMIC10）

颗粒物控制：

• 粒径分布：≥0.1μm颗粒≤1个/L（ISO14644-1Class1）
• 颗粒浓度：动态流动状态下≤5个/m³

水分及氧含量：

• 水分（H₂O）：≤1ppb（露点≤-76℃）
• 氧含量（O₂）：≤2ppb（电化学传感器法）

有机杂质分析：

• 烃类化合物：总烃≤100ppb（GC-FID法）
• 卤代烃：CH₂Cl₂、CHCl₃≤10ppb

腐蚀性检测：

• 卤素离子：F⁻、Cl⁻≤0.5ppb（离子色谱法）
• 硫化物：H₂S≤1ppb（化学发光法）

同位素丰度：

• 氘代气体：D/H比≤0.5%（质谱法）
• 碳同位素：¹³C/¹²C偏差±0.1%

毒性与反应性：

• 自燃性验证：磷烷在空气中的自燃点≤38℃
• 急性毒性浓度：IDLH值测定（参照NFPA704）

包装容器残留：

• 内壁脱附物：总挥发有机物≤50μg/m²
• 微粒脱落：摩擦试验后颗粒增量≤10%

稳定性验证：

• 长期储存成分变化：主成分衰减率≤0.01%/月
• 热分解产物：加热至150℃时杂质生成量≤5ppb

检测范围

1.硅烷（SiH₄）：用于化学气相沉积，检测重点为硼/磷掺杂剂残留（≤0.1ppb）及颗粒物控制。

2.砷烷（AsH₃）：高毒性气体，侧重剧毒杂质砷化氢纯度（≥99.999%）及金属Fe/Ni含量。

3.氨气（NH₃）：应用于氮化硅薄膜，核心检测水分（≤0.5ppb）及CO/CO₂杂质（≤1ppb）。

4.氯气（Cl₂）：蚀刻工艺气体，重点监控金属腐蚀产物（Al³⁺≤0.05ppb）及水分含量。

5.三氟化氮（NF₃）：清洗气体，需验证氟碳化合物残留（CF₄≤10ppb）及酸度（HF≤0.2ppb）。

6.六氟化钨（WF₆）：金属沉积气体，检测重心包括钨颗粒物（≥0.3μm计数）及氧杂质（≤5ppb）。

7.氦气（He）：载气与密封气体，关键项目为氖/氩同位素干扰（≤10ppb）及氢渗透率。

8.一氧化二氮（N₂O）：氧化层生长气体，重点分析CO₂副产物（≤50ppb）及颗粒分布均匀性。

9.锗烷（GeH₄）：用于锗硅外延，需监控锗氧化物（GeO≤20ppb）及碳烃杂质。

10.硫化氢（H₂S）：特殊掺杂源，检测核心为硫同位素纯度（³²S≥99.9%）及水分兼容性。

检测方法

国际标准：

• ASTMD8098-17电子级气体中金属杂质ICP-MS测定法
• SEMIC10-1109电子特气颗粒物光散射计数规范
• ISO8573-1:2010压缩气体水分露点检测
• NFPA55-2020电子气体燃烧性与毒性评估

国家标准：

• GB/T28727-2012电子工业用气体中颗粒测定方法（与ISO差异：采样流量上限低15%）
• GB/T34797-2017电子特气水分含量测定（与ASTM差异：电解池灵敏度高0.1ppb）
• GB/T3634.2-2011氢气杂质气相色谱法（与SEMI差异：碳烃检测限低5ppb）
• GB/T37249-2018高纯氯气金属离子检测（与ASTM差异：取样容器材质要求更严）

检测设备

1.高分辨质谱仪：ThermoFisherOrbitrapExplorisGC240（质量精度≤0.001Da，检测限0.01ppb）

2.激光粒子计数器：PMSLasairIII110L（粒径范围0.05-5μm，流量28.3L/min）

3.气相色谱-氦离子化检测器：Agilent990MicroGC（分辨率0.1ppb，分析时间<120s）

4.电感耦合等离子体质谱仪：PerkinElmerNexION2200（质量范围3-280amu，检出限0.001ppt）

5.傅里叶红外光谱仪：BrukerVertex80v（光谱分辨率0.07cm⁻¹，扫描速度80kHz）

6.超痕量水分仪：MichellOptiPEAKTDL600（测量范围-110~20℃露点，精度±0.2℃）

7.化学发光分析仪：TeledyneModelT201（H₂S检测限0.05ppb，响应时间<30s）

8.离子色谱仪：DionexICS-6000（阴离子检出限≤0.1ppb，梯度泵精度0.001mL/min）

9.气体同位素质谱仪：IsoprimeprecisION（δ¹³C精度±0.03‰，质量范围1-100Da）

10.高温热解析系统：MarkesUNITY-xr（脱附温度50-400℃，吸附管残留<0.1%）

11.电化学传感器组：SystechIllinoisEC900（O₂检测限0.5ppb，交叉干扰补偿）

12.全自动颗粒物采样器：PNSDustTrakDRX（流量稳定性±2%，实时粒径分级）

13.微波等离子体光谱仪：Agilent4210MP-AES（元素覆盖70种，氩气消耗<10L/h）

14.紫外荧光硫分析仪：Antek9000NS（硫检测限0.1ppb，线性范围0-1000ppm）

15.低温预浓缩仪：Entech7100A（富集因子>1000倍，温度控制

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

以上是与"电子特气检测"相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。