检测项目

1.基体材料成分分析：硅基成分测定，化合物半导体成分测定，基体纯度分析，主成分比例测定。

2.金属元素检测：铝含量测定，铜含量测定，金含量测定，银含量测定，镍含量测定。

3.微量杂质分析：痕量金属杂质检测，非金属杂质检测，杂质分布分析，杂质来源排查。

4.封装材料成分检测：塑封料成分分析，环氧树脂成分检测，填料组成测定，固化体系分析。

5.焊接材料检测：焊料成分分析，助焊残留物检测，焊点元素组成检测，界面扩散层分析。

6.表面镀层分析：镀金层成分测定，镀银层成分测定，镀镍层成分测定，镀层厚度相关成分评估。

7.有机物成分检测：有机聚合物鉴别，添加剂分析，增塑成分检测，残留有机物筛查。

8.无机物成分检测：氧化物分析，填充颗粒分析，无机盐残留检测，陶瓷成分测定。

9.污染物分析：离子污染物检测，表面残留物分析，颗粒污染物识别，异常沉积物成分分析。

10.界面成分分析：金属与基体界面成分检测，钝化层成分分析，粘接界面成分分析，分层区域物质识别。

11.失效相关成分排查：腐蚀产物分析，烧蚀残留物检测，裂纹处异物成分检测，失效点元素异常分析。

12.气体与挥发物分析：挥发性物质检测，逸出气体成分分析，热释放产物检测，封装内部挥发残留分析。

检测范围

逻辑芯片、存储芯片、功率芯片、模拟芯片、射频芯片、传感芯片、微控制器芯片、图像处理芯片、驱动芯片、封装芯片、裸芯片、晶圆、引线框架、焊球、键合丝、塑封料、芯片焊点、芯片镀层、芯片钝化层、芯片封装基板

检测设备

1.扫描电子显微镜：用于观察芯片表面形貌、截面结构及微区特征，可辅助异常区域定位与成分分析前处理。

2.能谱分析仪：用于检测微区元素组成和相对含量，适合开展表面、截面及局部缺陷区域的元素筛查。

3.波谱分析仪：用于提高元素定性与定量分析准确性，适合复杂样品中多元素成分测定。

4.电感耦合等离子体发射光谱仪：用于金属元素及微量元素分析，适合芯片材料中多种元素的定量测定。

5.电感耦合等离子体质谱仪：用于痕量杂质和超低含量元素检测，适合高灵敏度成分分析与污染物排查。

6.红外光谱仪：用于有机材料组成鉴别，可分析塑封料、粘接材料及残留有机物的化学特征。

7.拉曼光谱仪：用于微区物相识别和材料结构分析，适合芯片表层物质、污染物及异常沉积物鉴别。

8.气相色谱质谱联用仪：用于挥发性有机物及热释放产物分析，适合封装材料逸出物和残留物检测。

9.离子色谱仪：用于检测可溶性离子残留和离子型污染物，适合表面清洁度与污染风险评估。

10.荧光光谱仪：用于无损元素筛查和材料组成初步判别，适合来料成分核查及镀层相关元素检测。