检测项目

1.表面磨损形貌：磨痕宽度，磨痕深度，表面划伤，犁沟形貌，剥落区域，边缘破损

2.摩擦性能：摩擦系数，摩擦波动，起始摩擦行为，稳态摩擦行为，滑动阻力变化

3.材料去除与质量损失：磨损体积，质量损失，厚度减薄，材料迁移，碎屑生成量

4.表面层完整性：钝化层磨耗，金属层破坏，保护膜脱落，涂覆层开裂，界面分层

5.微观结构损伤：微裂纹，孔洞扩展，晶粒变形，局部压痕，脆性崩边

6.颗粒与污染控制：磨损颗粒数量，颗粒尺寸分布，表面残留物，污染附着，二次转移物

7.接触可靠性：接触电阻变化，导通稳定性，接触点磨耗，端子磨损，界面失效

8.机械耐久性能：循环磨损寿命，往复耐磨性，载荷承受能力，疲劳磨损行为，重复接触稳定性

9.热耦合磨损行为：温升影响，热摩擦响应，热致软化，热裂损伤，高温磨耗稳定性

10.环境适应性：湿热磨损变化，腐蚀磨损倾向，氧化后磨损，洁净环境磨损表现，颗粒环境敏感性

11.封装部位磨损评价：引脚表面磨耗，焊盘损伤，键合区磨损，封装外层擦伤，接插件接触面磨损

12.失效分析关联：失效位置识别，损伤模式判定，磨损机理分析，异常源排查，寿命衰减评估

检测范围

硅晶圆、化合物晶圆、外延片、芯片裸片、切割后芯片、封装芯片、引线框架、焊盘、焊球、键合丝接触区、探针卡接触端、金属互连层、钝化层样片、保护涂层样片、功率器件封装体、传感器芯片、微机电器件、半导体陶瓷基板

检测设备

1.摩擦磨损试验机：用于模拟滑动、往复和接触磨损过程，测定摩擦系数及磨损量变化。

2.显微硬度计：用于测定表层硬度和局部抗压性能，辅助分析磨损抗力与变形特征。

3.表面轮廓仪：用于测量磨痕深度、宽度和表面粗糙度，评价材料去除与表面损伤程度。

4.金相显微镜：用于观察表面划伤、裂纹、剥落和微观磨损形貌，进行损伤区域识别。

5.扫描电子显微镜：用于放大观察微裂纹、颗粒脱落和界面破坏形态，支撑磨损机理分析。

6.表面粗糙度测量仪：用于评估磨损前后表面起伏变化，反映加工层和功能层的稳定性。

7.接触电阻测试仪：用于测量磨损过程中接触界面的电阻变化，评价电接触可靠性。

8.恒温恒湿试验箱：用于提供受控温湿环境，考察环境因素对磨损行为和表面失效的影响。

9.颗粒计数分析设备：用于统计磨损颗粒数量与粒径分布，评估污染水平和脱落风险。

10.超景深显微观察设备：用于获取立体表面图像和局部高度信息，辅助判断磨痕边缘与层间损伤特征。