检测项目

1.弹性模量分析：杨氏模量，剪切模量，体积模量，泊松比。

2.应力应变响应分析：应力应变曲线，线弹性区间，屈服前响应，回复特性。

3.薄膜力学性能分析：薄膜弹性模量，薄膜残余应力，薄膜附着层变形，薄膜界面响应。

4.晶圆形变分析：翘曲量，弯曲度，平整度变化，载荷下变形行为。

5.压痕弹性响应分析：压入深度，卸载回复，接触刚度，局部弹性恢复。

6.封装结构弹性分析：封装体变形，焊点受力响应，界面应力分布，层间协调变形。

7.热机械耦合分析：热应力响应，温度循环形变，热膨胀失配效应，弹性恢复稳定性。

8.微区力学分析：微区模量分布，局部应变响应，表层弹性差异，微结构形变特征。

9.界面弹性稳定性分析：界面结合区应力，剥离趋向，界面位移响应，层间弹性匹配性。

10.各向异性弹性分析：晶向弹性差异，面内响应差异，厚向变形特征，方向相关模量。

11.动态弹性响应分析：频率响应，动态刚度，阻尼相关特征，周期载荷形变。

12.断裂前弹性行为分析：裂纹萌生前形变，应力集中区响应，弹性能积累，局部失稳征兆。

检测范围

单晶硅晶圆、多晶硅片、外延片、半导体薄膜、光刻胶薄层、绝缘层薄膜、金属互连层、介质层结构、芯片裸片、功率器件芯片、传感器芯片、封装基板、引线框架封装体、倒装封装体、晶圆级封装体、键合界面材料、焊点结构、导热界面材料、缓冲层材料、复合半导体材料

检测设备

1.纳米压痕仪：用于测定微小区域的弹性模量、接触刚度和压痕回复特征，适合薄膜与微结构力学分析。

2.显微力学试验机：用于开展微小试样的压缩、拉伸和弯曲测试，获取局部弹性响应与形变数据。

3.晶圆翘曲测试仪：用于测量晶圆在常温或受热条件下的翘曲、弯曲和面形变化，评估整体弹性稳定性。

4.动态力学分析仪：用于测试材料在交变载荷下的动态刚度、储能响应和损耗特征，反映动态弹性行为。

5.显微镜形貌测量系统：用于观察表面形貌、压痕轮廓和微观变形区域，为弹性分析提供几何信息。

6.薄膜应力测试仪：用于评估薄膜沉积前后的应力变化和曲率变化，分析薄膜弹性与残余应力状态。

7.热机械分析仪：用于测定材料在温度变化过程中的尺寸变化和热变形响应，分析热机械耦合特征。

8.微区位移测量系统：用于记录样品表面微小位移、应变分布和局部形变量，支持界面与微区弹性研究。

9.精密加载平台：用于施加可控静态或循环载荷，研究半导体样品在不同受力条件下的弹性响应。

10.声学响应测试系统：用于结合振动或波动响应评估材料内部弹性特征，辅助分析结构均匀性与力学稳定性。