检测项目

表面元素成分分析：检测范围0.1-10 at%，能量分辨率≤0.6 eV

化学态表征：结合能精度±0.2 eV，峰形拟合误差<5%

深度剖析：溅射速率0.1-50 nm/min，深度分辨率<5 nm

横向分布成像：空间分辨率≤10 nm，扫描范围1 μm×1 μm至500 μm×500 μm

界面污染分析：检测限≤0.5 at%，信噪比≥20:1

检测范围

半导体材料：硅片、GaAs、氮化镓等外延层表面分析

金属合金：不锈钢表面钝化膜、钛合金氧化层表征

纳米材料：量子点、二维材料（如石墨烯）成分分布

高分子材料：聚合物表面添加剂迁移检测

电子器件：芯片焊点界面污染、OLED电极层分析

检测方法

ASTM E827-19：俄歇电子能谱仪校准标准

ISO 18118:2017：表面化学分析-俄歇能谱定量方法

GB/T 26533-2011：俄歇电子能谱分析方法通则

ISO 20903:2019：俄歇能谱溅射深度剖析技术规范

GB/T 35033-2018：微束分析-俄歇电子能谱元素面分布方法

检测设备

PHI 700Xi：配备场发射电子枪，空间分辨率达6 nm，支持锁相放大检测

Thermo Scientific Nexsa G2：集成单色化电子源，能量分辨率0.4 eV，兼容反射电子衍射

ULVAC-PHI SAM-680：配备四通道电子能量分析器，深度剖析速率0.01-100 nm/s

JEOL JAMP-9510F：集成FIB-SEM联用系统，支持三维成分重构

Specs FlexMod：模块化设计，可扩展至低能电子衍射（LEED）联用分析

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

　　以上是与俄歇检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。