检测项目

波长范围检测:0.1-2.0μm,分辨率±0.05nm

透射率极限测试:精度±0.1%(200-400nm波段)

反射率非线性误差:≤0.3%(ASTM E429标准)

吸收系数测定:0.01-10^4 cm⁻¹(ISO 13468规范)

波长稳定性:±0.02nm/4h(恒温25±0.5℃)

检测范围

光学薄膜:增透膜、分光膜、滤光片

半导体材料:GaN、SiC、Al₂O₃晶圆

纳米材料:量子点、二维材料(MoS₂、石墨烯)

荧光材料:稀土掺杂玻璃、有机发光材料

激光晶体:YAG、蓝宝石、氟化钙

检测方法

分光光度法:ASTM E275-08、GB/T 26824-2011

傅里叶变换光谱法:ISO 15470:2017

光致发光光谱法:GB/T 37841-2019

椭偏仪法:ASTM E903-12

激光干涉法:ISO 10110-5:2015

检测设备

OceanOptics HR4000光谱仪:波长范围200-1100nm,光学分辨率0.1nm

Agilent Cary 7000分光光度计:支持0.175-3.3μm,双光束设计

Horiba LabRAM HR Evolution显微拉曼系统:激光波长325nm,空间分辨率1μm

Bruker Vertex 80v真空傅里叶红外光谱仪:远红外至紫外波段,波数精度0.07cm⁻¹

J.A. Woollam M-2000V椭偏仪:波长190-1700nm,膜厚测量精度±0.1nm