检测项目

波长范围检测：0.1-2.0μm，分辨率±0.05nm

透射率极限测试：精度±0.1%（200-400nm波段）

反射率非线性误差：≤0.3%（ASTM E429标准）

吸收系数测定：0.01-10^4 cm⁻¹（ISO 13468规范）

波长稳定性：±0.02nm/4h（恒温25±0.5℃）

检测范围

光学薄膜：增透膜、分光膜、滤光片

半导体材料：GaN、SiC、Al₂O₃晶圆

纳米材料：量子点、二维材料（MoS₂、石墨烯）

荧光材料：稀土掺杂玻璃、有机发光材料

激光晶体：YAG、蓝宝石、氟化钙

检测方法

分光光度法：ASTM E275-08、GB/T 26824-2011

傅里叶变换光谱法：ISO 15470:2017

光致发光光谱法：GB/T 37841-2019

椭偏仪法：ASTM E903-12

激光干涉法：ISO 10110-5:2015

检测设备

OceanOptics HR4000光谱仪：波长范围200-1100nm，光学分辨率0.1nm

Agilent Cary 7000分光光度计：支持0.175-3.3μm，双光束设计

Horiba LabRAM HR Evolution显微拉曼系统：激光波长325nm，空间分辨率1μm

Bruker Vertex 80v真空傅里叶红外光谱仪：远红外至紫外波段，波数精度0.07cm⁻¹

J.A. Woollam M-2000V椭偏仪：波长190-1700nm，膜厚测量精度±0.1nm