检测项目

反射率（入射角：5°–85°，波长范围：200–2500 nm）

透射率（光谱分辨率：0.1 nm，测量重复性误差≤±0.5%）

膜层厚度（精度：±1 nm，检测范围：10–5000 nm）

折射率与消光系数（基于椭偏法，波长覆盖：190–1700 nm）

界面粗糙度（横向分辨率：1 μm，纵向灵敏度：0.1 nm）

检测范围

光学薄膜（增透膜、反射膜、滤光片）

半导体涂层（氮化硅、氧化铟锡、多晶硅）

光伏材料（PERC电池减反射层、钙钛矿薄膜）

显示面板（OLED封装层、偏光膜）

高分子薄膜（PET阻隔涂层、聚酰亚胺柔性基板）

检测方法

ASTM E903-20：材料太阳光吸收比、反射比和透射比的测试方法

ISO 13697:2006：激光损伤阈值测试中的反射率与透射率测量

GB/T 26323-2010：光学功能薄膜反射率测定方法

ISO 14782:2015：塑料透明材料雾度和透光率测试

GB/T 13384-2008：光学薄膜折射率和厚度的椭偏仪测试通则

检测设备

J.A. Woollam M-2000型光谱椭偏仪（波长范围：190–1700 nm，膜厚分辨率：0.1 nm）

PerkinElmer Lambda 1050紫外-可见-近红外分光光度计（波长精度：±0.08 nm，杂散光<0.00007%）

Bruker Dektak XT台阶仪（纵向分辨率：0.1 Å，扫描长度：1–55 mm）

Zygo NewView 9000白光干涉仪（垂直分辨率：0.1 nm，横向视场：0.1–10 mm）

Ocean Insight FX系列光纤光谱仪（积分时间：1 ms–10 s，动态范围：8×10^8:1）