检测项目

表面形貌观察：分辨率最高0.5nm，放大倍数范围10x-1,000,000x

元素成分分析：检测范围硼至铀，精度±0.1wt%使用能谱仪

晶格结构表征：分辨率优于1nm，适用于晶体缺陷识别

表面粗糙度测量：精度±5%，基于ISO 4287标准

颗粒尺寸分布：可测直径1nm-100μm，分布偏差±2%

涂层厚度评估：精度±2nm，适用于薄膜材料

微缺陷检测：最小可识别尺寸10nm，检出率99%

生物样品成像：分辨率1nm，支持活细胞观察

材料相分析：结合背散射电子，相区分精度±3%

导电性测试：通过二次电子信号，电阻范围10⁶-10¹²Ω

孔隙率测定：孔径测量精度±0.5μm，符合ASTM F312

元素映射：空间分辨率5nm，元素分布可视化

断面分析：切割精度±1μm，用于层状结构

污染物鉴定：检测限0.01wt%，适用于微粒

纳米结构表征：可解析碳纳米管直径0.8nm

检测范围

金属材料：钢铁、铝合金、钛合金及铜合金

陶瓷材料：氧化铝、碳化硅、氧化锆和氮化硅

聚合物材料：聚乙烯、聚碳酸酯、橡胶及环氧树脂

半导体材料：硅晶片、砷化镓芯片和光刻胶

生物样品：细胞组织、微生物、骨切片和植物纤维

纳米材料：纳米颗粒、石墨烯和量子点

复合材料：碳纤维增强塑料、金属基复合体

地质样品：矿石、矿物和沉积物

电子元件：印刷电路板、集成电路封装

环境样品：粉尘颗粒、空气污染物和土壤微粒

涂层材料：金属镀层、陶瓷涂层和聚合物膜

医疗器械：植入物表面、手术器械组件

纤维材料：碳纤维、玻璃纤维和天然纤维

薄膜产品：太阳能电池膜、光学镀膜

化石样品：古生物标本和岩石薄片

检测方法

样品制备：依据ISO 16700进行金属和陶瓷切割

图像采集：遵循ASTM E1508标准操作流程

元素能谱分析：参考ISO 22309使用EDS方法

分辨率校准：按照GB/T 18000系列进行仪器校验

真空系统操作：基于ISO 16700标准真空度控制

背散射电子检测：执行ASTM E766规范

二次电子成像：采用SEM标准操作程序

能谱仪校准：依据ISO 22036进行能量校正

定量成分分析：使用ZAF校正方法，参考GB/T 17359

图像处理：应用ISO 19258进行噪点过滤

颗粒统计：遵循ASTM E112粒径分布方法

低温观察：基于ISO 16700进行冷却台操作

断层扫描：执行ASTM E2546标准层析成像

导电涂层处理：参考GB/T 23444防电荷积累

生物样品固定：采用ISO 16700化学固定法

检测设备

高分辨率SEM Model HR-5000：分辨率0.5nm，放大倍数1,000,000x

场发射SEM Model FE-SEM2000：配备EDS，元素检测下限0.1wt%

环境SEM Model ESEM-300：支持湿样品观察，真空度1-2600Pa

台式扫描电镜 Model Benchtop-SEM100：分辨率3nm，紧凑设计

扫描透射电子显微镜附件 STEM-Pro：分辨率0.2nm，用于薄样品

能谱分析仪 Model EDS-8000：检测元素B-U，能量分辨率123eV

电子背散射衍射系统 Model EBSD-500：晶向分析精度±0.5°

聚焦离子束系统 Model FIB-7000：切割精度±1nm，用于样品制备

低温台附件 Model Cryo-Stage：温度范围-180°C至室温

图像分析软件 Model IA-Suite：支持自动颗粒计数和尺寸测量

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

　　以上是与扫描电子显微镜检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。