检测项目
晶格畸变率(范围:0.1%-5.0%,精度±0.02%)
原子占位比(掺杂元素占位率,检测限:0.01 at%)
晶格常数偏差(分辨率:±0.001 Å)
原子位移矢量分析(三维方向精度:±0.005 nm)
元素扩散路径模拟(温度范围:25-1200℃,步长±1℃)
检测范围
金属合金(如Fe-Cr-Ni系高温合金、Al-Mg-Si系轻质合金)
半导体材料(GaN/SiC外延层、掺杂硅晶圆)
陶瓷材料(ZrO₂基氧离子导体、BaTiO₃介电陶瓷)
稀土永磁材料(Nd-Fe-B、Sm-Co系烧结体)
锂离子电池正极材料(LiCoO₂、NCM三元材料)
检测方法
X射线衍射分析法(ASTM E112-13,GB/T 13305-2008)
高分辨透射电子显微术(ISO 16700:2016,GB/T 27788-2020)
扩展X射线吸收精细结构谱(ISO 15632:2021)
原子探针层析技术(ASTM E2859-18)
中子衍射全谱拟合(GB/T 36075-2018)
检测设备
JEOL JEM-ARM300F:球差校正透射电镜,分辨率0.08 nm,支持原子级EELS/EDS联用
Bruker D8 ADVANCE:X射线衍射仪,配备LYNXEYE XE-T探测器,角度重复性±0.0001°
Thermo Fisher SCIOS 2:双束FIB-SEM系统,集成三维原子探针模块
Rigaku ZSX Primus IV:波长色散X射线荧光光谱仪,检测限达ppm级
Malvern Panalytical Empyrean:多功能X射线平台,支持SAXS/WAXS同步分析