检测项目
体积电阻率：测量范围10³~10¹⁵ Ω·cm，温度范围-50~300℃
表面电阻率：测试电压100 V~1000 V，精度±1%
电导率：范围0.01~10⁶ S/m，分辨率0.1%
电阻温度系数：温度梯度±0.1℃，重复性误差≤2%
各向异性电阻比：三轴方向测试，角度偏差≤0.5°
检测范围
导电材料：金属合金、碳基复合材料、导电高分子
半导体材料：硅晶圆、GaN衬底、有机半导体薄膜
绝缘材料：陶瓷基板、环氧树脂、聚酰亚胺薄膜
薄膜材料：ITO导电膜、PVD镀层、纳米涂层
复合材料：碳纤维增强塑料、石墨烯掺杂材料
检测方法
四探针法：ASTM F84、GB/T 1551，适用于半导体薄片
高阻计法：ISO 1853、GB/T 1410，用于绝缘材料测试
涡流法：ASTM E1004，适用金属材料非接触测量
范德堡法：ASTM F76，用于各向异性材料分析
交流阻抗谱法：IEC 62631-3，评估频率依赖性
检测设备
Keithley 6517B高阻计：测量范围10⁻⁴~10¹⁷ Ω，支持多通道扫描
Agilent 4338B毫欧表：分辨率0.1 μΩ，四线制测量
Loresta-GX MCP-T700：四探针系统，自动温度补偿
Novocontrol Alpha-A：宽频介电谱仪，频率范围10⁻⁴~10⁷ Hz
ESPEC PCT-320温控箱：温控精度±0.5℃，湿度范围10%~98% RH