检测项目
晶粒尺寸分布:测量平均晶粒尺寸(范围0.1-500μm),依据ASTM E112标准分级
晶粒形状系数:计算长宽比(1.0-5.0)及圆度误差(±0.05)
晶界取向差角:检测角度范围2°-65°,分辨率±0.1°
变形层深度:分析表面至基体的梯度变化(0-200μm)
位错密度:量化单位体积内位错线数量(10⁶-10¹²/cm²)
检测范围
金属材料:铝合金、钛合金、高强度钢等轧制/锻造件
高温合金:镍基/钴基合金涡轮叶片及燃烧室部件
陶瓷材料:氧化锆、碳化硅等烧结体结构件
复合材料:碳纤维增强聚合物基体界面区
半导体材料:硅晶圆切割加工影响区
检测方法
金相分析法:ASTM E3-2011试样制备,GB/T 13298-2015显微组织检验
电子背散射衍射(EBSD):ISO 24173:2020取向分析,GB/T 38889-2020数据处理
X射线衍射(XRD):ASTM E915-2020残余应力测定,GB/T 31309-2014织构分析
显微硬度法:ISO 6507-1:2018压痕变形评估
透射电镜(TEM):GB/T 23414-2020位错观察
检测设备
蔡司Sigma 500场发射扫描电镜:搭配Oxford Symmetry EBSD探测器,空间分辨率1.2nm
FEI Versa 3D双束系统:支持FIB三维重构与EBSD联用
布鲁克eFlash HD EBSD探测器:采集速度>3000点/秒,Hough分辨率512×512
岛津XRD-7000衍射仪:Cu靶Kα辐射,扫描角度5°-120°,步长0.01°
莱卡DM2700M金相显微镜:5000:1动态聚焦,配备Clemex图像分析模块
明微HVS-1000数显显微硬度计:载荷0.098-9.8N,压痕自动测量精度±0.1μm
日本电子JEM-2100F场发射透射电镜:点分辨率0.19nm,配备Gatan Orius相机