检测项目
波长范围检测：2-25μm波段覆盖性验证
透过率测试：目标波长下透过率≥85%（视材料类型调整阈值）
衍射效率分析：一级衍射效率误差≤±3%
光栅常数校准：周期误差控制在±0.05μm内
表面平整度检测：Ra≤0.02μm（激光干涉法）
检测范围
光学玻璃基红外光栅
聚合物薄膜衍射光栅
金属镀膜红外反射光栅
红外滤光片阵列组件
半导体晶圆集成光栅结构
检测方法
ASTM E423-71：非金属材料红外发射率标准测试
ISO 9211-4:2012：光学涂层光谱性能评估
GB/T 18311.3-2001：光纤设备用光栅机械耐久性试验
ISO 10110-8:2020：光学元件衍射特性表征
GB/T 26189-2010：红外光谱分析通则
检测设备
傅里叶变换红外光谱仪（PerkinElmer Spectrum Two）：波长分辨率0.5cm⁻¹，支持2-28μm波段扫描
高精度分光光度计（Shimadzu UV-3600 Plus）：覆盖0.2-25μm，光度重复性±0.0003Abs
激光干涉仪（Zygo Mark III）：垂直分辨率0.1nm，检测面积Φ150mm
红外椭偏仪（J.A. Woollam M-2000）：入射角范围20-90°，膜厚测量精度±0.1nm
台阶轮廓仪（Bruker Dektak XT）：Z轴分辨率0.1Å，扫描长度50mm