检测项目

表面粗糙度检测：Ra值范围0.01-0.8μm，局部斜率≤0.5mrad

平面度偏差检测：PV值≤λ/10（λ=632.8nm），RMS值≤λ/50

膜层厚度均匀性：厚度偏差±2nm（100-500nm膜层）

折射率分布检测：梯度变化≤5×10⁻⁴/mm

动态热变形量：温度循环（-50℃至+150℃）下形变量≤0.1μm/℃

检测范围

光学元件：透镜、棱镜、反射镜等镀膜/非镀膜元件

半导体晶圆：硅片、GaAs衬底表面平整度与缺陷分析

薄膜涂层：AR膜、IR-cut膜、ITO导电膜的厚度均匀性

复合材料：碳纤维增强聚合物（CFRP）层间应力分布

精密机械部件：轴承滚道面形精度与微裂纹检测

检测方法

ASTM E284-17：表面粗糙度白光干涉测量法

ISO 10110-8:2020：光学元件面形误差干涉评价

GB/T 22461-2008：膜层厚度相移干涉测量技术

ISO 14978:2018：激光干涉仪校准规范

GB/T 34879-2017：微纳米表面结构干涉测量法

检测设备

Zygo Verifire MST：波长633nm，垂直分辨率0.1nm，用于纳米级表面形貌分析

Bruker ContourGT-X3：白光干涉仪，最大扫描范围10mm×10mm，支持3D粗糙度建模

Filmetrics F20：光谱范围380-1700nm，膜厚测量精度±0.2nm

4D Technology PhaseCam 6040：动态干涉仪，采样速率5000帧/秒，适用于振动环境检测

Nikon XC-50：长工作距干涉物镜（NA=0.55），支持曲率半径0.5-5000mm元件检测