杂质元素含量检测(检测参数:B、P、As等痕量杂质,灵敏度≤0.01 ppb)
晶体缺陷密度分析(参数:位错密度≤103 cm-2,层错率<0.1%)
电阻率均匀性测试(参数:径向偏差≤±5%,轴向梯度<0.1 Ω·cm/mm)
氧/碳含量测定(参数:氧含量≤1×1016 atoms/cm³,碳含量≤5×1015 atoms/cm³)
熔区温度场分布(参数:温度梯度控制±1.5℃/mm,峰值温度重复性±0.3%)
半导体单晶硅(直径100-450mm,纯度≥99.9999%)
III-V族化合物(GaAs、InP等,载流子浓度1014-1018 cm-3)
高纯金属锭(Cu、Al等,纯度≥6N级)
红外光学晶体(ZnSe、CdTe等,透过率>70%@10 μm)
特种合金材料(Ni基高温合金、Ti-Al-V系等,成分偏差≤0.05 wt%)
辉光放电质谱法(GD-MS,依据ISO 22033:2021)
X射线形貌术(XRT,执行GB/T 32282-2015)
四探针电阻率测试(按GB/T 1551-2021规范)
低温傅里叶红外光谱(FTIR,参照ASTM F1636-19)
扫描电子显微镜-能谱联用(SEM-EDS,符合ASTM E1508-20)
Thermo Scientific ELEMENT GD Plus:全元素痕量分析,检测限达0.001 ppb
Bruker D8 DISCOVER XRT:亚微米级晶体缺陷成像,分辨率≤0.5 μm
Keithley 4200A-SCS:宽温区(-60℃~300℃)电阻率/霍尔效应测试系统
PerkinElmer Frontier L16:中远红外光谱分析,波长范围2.5-25 μm
JEOL JSM-7900F:场发射扫描电镜,搭配Oxford Ultim Max EDS,面分析精度±0.1 at%
报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期:7~15工作日,可加急。
资质:旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试:支持定制化试验方案。
售后:报告终身可查,工程师1v1服务。
以上是与连续区熔精炼检测相关的简单介绍,具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。