检测项目
扩散层厚度:测量范围0.1-500μm,分辨率±0.05μm
共晶相组成比例:精度±0.5wt%,检测限0.1%
元素扩散系数:温度范围25-1200℃,误差≤5%
共晶相变温度:量程-196-1600℃,重复性±1℃
界面结合强度:测试载荷0.1-50kN,精度±0.5%FS
检测范围
电子封装材料:Sn-Pb/Sn-Ag-Cu共晶焊料
高温结构材料:Ni基/W基超合金
焊接材料:Al-Si/Al-Cu共晶体系
涂层材料:Fe-Cr-Al-Y扩散障涂层
半导体材料:Ge-Si/InSb-In共晶键合层
检测方法
ASTM E112:金相法测定扩散层厚度
GB/T 13305:XRD定量相组成分析
ISO 20482:电子探针微区成分分析
GB/T 4339:热膨胀法测定相变温度
ASTM E8/E8M:万能试验机界面强度测试
检测设备
场发射扫描电镜:FEI Nova NanoSEM 450,配备EDS/EBSD,用于微观结构表征
高温共聚焦显微镜:Lasertec VL2000DX-SVF17SP,实时观察相变过程
热分析系统:NETZSCH STA 449 F5,同步进行TG-DSC检测
X射线衍射仪:PANalytical X'Pert3 Powder,Cu靶,2θ范围5-160°
纳米压痕仪:Keysight G200,最大载荷500mN,位移分辨率0.01nm