检测项目

等离子体层厚度：测量范围0.1-500μm，分辨率±0.05μm

元素成分分析：检测C、N、O等轻元素含量，精度±0.1at%

表面形貌与粗糙度：Ra值0.01-10μm，3D形貌重建精度≤5nm

结合强度测试：划痕法临界载荷1-200N，压痕法载荷范围0.1-50mN

电化学性能：腐蚀电位±2mV，阻抗谱频率范围10μHz-1MHz

检测范围

半导体材料：硅基等离子体掺杂层、GaN外延薄膜

金属表面改性层：TiN、CrAlN等离子喷涂涂层

医疗器械镀层：DLC类金刚石涂层、羟基磷灰石涂层

光学功能薄膜：ITO透明导电膜、AR增透膜

复合材料界面层：碳纤维/树脂界面等离子处理层

检测方法

ASTM E3-11：金相法测量涂层截面厚度

ISO 1463:2021：轮廓仪法测定阶梯高度差

GB/T 16533-2022：EDS能谱法定量元素分析

ISO 20502:2016：划痕试验法评估膜基结合力

ASTM G59-97(2020)：电化学阻抗谱测试规范

检测设备

场发射扫描电镜：JEOL JSM-IT800，配备BSE探测器，最大放大倍数×1,000,000

X射线衍射仪：Rigaku SmartLab，θ-θ测角仪，角度精度±0.0001°

白光干涉轮廓仪：Bruker ContourGT-K，垂直分辨率0.1nm

纳米压痕仪：Hysitron TI 950，最大载荷10N，位移分辨率0.02nm

电化学工作站：Gamry Interface 1010E，电流量程±2A，电位分辨率10μV

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

　　以上是与等离子体层检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。