检测项目

静态压力法泄漏率测定：测试压力范围0.1-10MPa，灵敏度1×10⁻¹² Pa·m³/s

动态流量法示踪气体分析：氦气浓度梯度0.1%-5%，流量分辨率0.01sccm

真空累积法密封评估：真空度维持≤1×10⁻⁴Pa，累积时间2-24h

局部扫描法漏点定位：探头移动速度≤5mm/s，空间分辨率±2mm

温度循环法应力测试：温度范围-196℃~300℃，变温速率5℃/min

检测范围

高压储氢容器：Ⅲ型/Ⅳ型复合材料气瓶

真空镀膜设备：磁控溅射腔体、分子泵组

半导体封装：晶圆级封装结构、MEMS器件

核工业部件：燃料棒包壳管、主回路管道

航天器部件：推进剂贮箱、舱体密封结构

检测方法

ASTM E499-11：质谱仪示踪气体检漏标准方法

ISO 20486:2017：泄漏量校准与测量不确定度评定

GB/T 12604.7-2021：无损检测术语-泄漏检测

GB/T 34637-2017：真空技术氦质谱检漏方法

ASME BPVC Section V Art.10：承压设备真空箱检漏规范

检测设备

Leybold PHOENIX L300i：双通道质谱系统，最小可检漏率5×10⁻¹³mbar·L/s

Agilent VSF-5440：四极杆质谱仪带自动扫描平台，支持SNR＞100:1

INFICON UL1000 Fab：半导体专用检漏台，集成PLC控制系统

Pfeiffer HLT560：高真空复合检漏系统，温度补偿精度±0.1%FS

ESCO VACUUBRAND MD4C：化学隔膜泵组，极限真空0.01mbar

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

　　以上是与氦检漏率检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。