氦气泄漏率测定:阈值≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s
真空系统基础压力测试:≤5×10⁻⁴ Pa
示踪气体浓度校准:氦气纯度≥99.999%
泄漏点定位精度:空间分辨率≤0.1mm
温度稳定性控制:工作环境±1℃波动范围
系统响应时间:≤3秒(从泄漏发生到信号触发)
高真空设备:分子泵腔体、离子注入机真空室
能源装备:核反应堆压力容器密封件、燃料电池双极板
电子元器件:MEMS封装器件、晶圆级封装结构
航空航天部件:航天器推进剂贮箱、航空发动机燃油喷嘴
医疗设备:MRI超导磁体杜瓦、血液透析机滤芯
ASTM E499-11: Standard Test Method for Leaks Using the Mass Spectrometer Leak Detector in the Detector Probe Mode
ISO 20485:2017: Non-destructive testing - Leak testing - Tracer gas method
GB/T 12604.7-2021: 无损检测术语 泄漏检测
GB/T 34637-2017: 真空技术 氦质谱检漏方法
ASME BPVC Section V Article 10: Standard for Helium Mass Spectrometer Leak Testing
Leybold PHOENIX L300i:最小可检漏率5×10⁻¹³ Pa·m³/s,配备四极杆质谱分析模块
Agilent VS Series:集成自动校准系统,支持10⁻⁴~10⁻¹² mbar·L/s量程切换
INFICON UL1000 Fab:专用于半导体行业的在线检漏系统,配置多通道采样接口
Pfeiffer HLT260:便携式氦检漏仪,响应时间<1秒,内置GPS定位模块
Edwards STP-4503:涡轮分子泵组配合磁悬浮轴承技术,极限真空达5×10⁻⁷ Pa
报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期:7~15工作日,可加急。
资质:旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试:支持定制化试验方案。
售后:报告终身可查,工程师1v1服务。
以上是与喷氦气真空检漏检测相关的简单介绍,具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。