检测项目

氦气泄漏率测定：阈值≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s

真空系统基础压力测试：≤5×10⁻⁴ Pa

示踪气体浓度校准：氦气纯度≥99.999%

泄漏点定位精度：空间分辨率≤0.1mm

温度稳定性控制：工作环境±1℃波动范围

系统响应时间：≤3秒（从泄漏发生到信号触发）

检测范围

高真空设备：分子泵腔体、离子注入机真空室

能源装备：核反应堆压力容器密封件、燃料电池双极板

电子元器件：MEMS封装器件、晶圆级封装结构

航空航天部件：航天器推进剂贮箱、航空发动机燃油喷嘴

医疗设备：MRI超导磁体杜瓦、血液透析机滤芯

检测方法

ASTM E499-11: Standard Test Method for Leaks Using the Mass Spectrometer Leak Detector in the Detector Probe Mode

ISO 20485:2017: Non-destructive testing - Leak testing - Tracer gas method

GB/T 12604.7-2021: 无损检测术语 泄漏检测

GB/T 34637-2017: 真空技术 氦质谱检漏方法

ASME BPVC Section V Article 10: Standard for Helium Mass Spectrometer Leak Testing

检测设备

Leybold PHOENIX L300i：最小可检漏率5×10⁻¹³ Pa·m³/s，配备四极杆质谱分析模块

Agilent VS Series：集成自动校准系统，支持10⁻⁴~10⁻¹² mbar·L/s量程切换

INFICON UL1000 Fab：专用于半导体行业的在线检漏系统，配置多通道采样接口

Pfeiffer HLT260：便携式氦检漏仪，响应时间＜1秒，内置GPS定位模块

Edwards STP-4503：涡轮分子泵组配合磁悬浮轴承技术，极限真空达5×10⁻⁷ Pa