检测项目

真空系统密封性测试：泄漏率≤1×10^-9 Pa·m³/s

压力容器氦渗透率测定：测试压力0.1-10MPa（绝对压力）

微通道器件流量校准：流量范围1×10^-6-1×10^-3 mbar·L/s

封装组件累积泄漏量分析：累积时间≥30min

高温工况模拟检漏：温度范围-196℃至+300℃

检测范围

金属焊接件（不锈钢/钛合金/铝合金焊缝）

电子元件封装（芯片级封装/IGBT模块）

真空设备（分子泵/低温冷阱/真空腔体）

医疗器具（血液透析器/植入器械包装）

新能源组件（燃料电池双极板/锂电池外壳）

检测方法

ASTM E493-22: Standard Practice for Leak Testing Using the Mass Spectrometer Leak Detector in the Inside-Out Testing Mode

ISO 20486:2017: Vacuum technology — Standard method for calibrating vacuum gauges of the ionization type

GB/T 32218-2015: 真空技术 氦质谱检漏方法

GB/T 34630-2017: 密封元件静态泄漏率测试方法

SJ 21473-2020: 电子元器件氦质谱细检漏试验方法

检测设备

Leybold PHOENIX L300i: 集成双通道质谱分析模块，最小可检漏率5×10^-13 mbar·L/s，支持正压/负压双模式测试

INFICON UL1000 Fab: 半导体级检漏仪，配备自动校准系统与抗污染离子源，响应时间＜3s@1×10^-7 mbar·L/s

Agilent VS-Series Helium Leak Detector: 模块化设计系统，内置质量流量控制器（MFC），量程覆盖1×10^-12-1×10^-4 Torr·L/s

Cincinnati 969HAS: 高真空多工位自动测试台，集成机械臂实现批量样品连续检测

Pfeiffer HLT 570 SmartTest: 便携式检漏仪配置无线数据传输模块，适用于现场设备维护检测

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

　　以上是与氦质谱检录法检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。