检测项目
光谱透过率：测量400-25000nm波长范围内的透射曲线
膜层厚度：精度要求±2nm（100-5000nm量程）
折射率分布：测定2.0-4.5范围内的梯度变化
表面粗糙度：Ra≤1nm（10μm×10μm扫描区域）
附着力强度：划痕法测试临界载荷≥20N
环境稳定性：85℃/85%RH条件下240小时老化测试
检测范围
光学级硫系玻璃基红外薄膜
硅基/锗基半导体红外增透膜
柔性聚合物基底红外滤光膜
金属氧化物复合红外反射膜
医疗设备用抗菌红外功能涂层
检测方法
ASTM E424-71(2015)：薄膜太阳吸收比测定方法
ISO 13697:2006 光学薄膜反射比测量规范
GB/T 2680-94 建筑玻璃可见光透射比测定方法
ISO 14706:2014 表面化学分析-全反射X射线荧光光谱法
GB/T 31563-2015 金属覆盖层厚度测量扫描电镜法
ASTM D3359-17 胶带法附着力测试标准
检测设备
PerkinElmer Spectrum Two FTIR：配备积分球附件，支持0.78-25μm波段分析
Veeco Dektak XTL台阶仪：垂直分辨率0.1nm，最大扫描长度50mm
J.A. Woollam M-2000U椭偏仪：70°入射角测量精度±0.01°
Bruker ContourGT-X3白光干涉仪：1Å垂直分辨率三维形貌重建
Shimadzu UV-3600i Plus分光光度计：双单色器设计，杂散光≤0.00005%
CETR UMT TriboLab摩擦磨损试验机：最大载荷50N的划痕测试模块