检测项目

1.静态电参数检测：导通电阻，阈值电压，漏电流，击穿电压，正向压降。

2.动态开关特性检测：开通时间，关断时间，上升时间，下降时间，开关损耗。

3.栅氧可靠性检测：栅漏电流，栅击穿特性，栅电荷稳定性，栅介质耐压，栅偏压退化。

4.结温相关电学检测：结温敏感参数，温度系数，热稳定导通特性，高温漏电行为，热漂移特性。

5.绝缘与隔离性能检测：绝缘电阻，介质耐压，隔离泄漏电流，表面绝缘特性，湿热后绝缘变化。

6.界面与陷阱效应检测：界面态影响，电荷俘获效应，迟滞特性，阈值漂移，恢复特性。

7.长期偏压可靠性检测：高温栅偏稳定性，高温反偏稳定性，正向导通老化，重复偏压应力，参数漂移评估。

8.雪崩与过载能力检测：雪崩耐受能力，浪涌电流承受能力，短时过载响应，失效前参数变化，恢复后电学变化。

9.脉冲电学性能检测：脉冲导通特性，瞬态电流响应，动态导通电阻，脉冲热效应，瞬态耐受能力。

10.容量特性检测：输入电容，输出电容，反向传输电容，结电容变化，电容温度特性。

11.反向恢复特性检测：反向恢复时间，反向恢复电荷，峰值恢复电流，恢复软硬度，温度影响特性。

12.失效分析相关电学检测：异常漏电定位，击穿路径判定，导通退化分析，参数突变识别，失效前后对比。

检测范围

碳化硅外延片、碳化硅衬底、碳化硅二极管、碳化硅场效应器件、碳化硅功率器件芯片、碳化硅整流器、碳化硅开关器件、碳化硅半桥模块、碳化硅全桥模块、碳化硅功率组件、碳化硅封装器件、碳化硅裸芯片、碳化硅晶圆、碳化硅车规器件、碳化硅工业电源器件、碳化硅逆变器用器件、碳化硅充电模块用器件、碳化硅高温应用器件

检测设备

1.半导体参数分析仪：用于测量器件电流电压特性，获取导通、截止、漏电及阈值等关键参数。

2.高压源测量系统：用于高电压条件下的击穿、耐压和泄漏测试，适合评估高场强电学行为。

3.脉冲参数测试系统：用于表征脉冲工况下的瞬态导通与动态电阻变化，减小自热对结果的影响。

4.动态开关测试平台：用于测量开通关断过程中的电压电流波形，分析开关速度及损耗特征。

5.栅氧可靠性测试装置：用于施加栅偏压应力并监测栅介质退化过程，评估长期稳定性。

6.高低温环境试验设备：用于提供不同温度条件，配合电学测试分析温度对参数漂移和失效的影响。

7.绝缘耐压测试仪：用于检测器件或模块绝缘电阻与介质耐受能力，评估隔离结构完整性。

8.电容特性分析仪：用于测量结电容及其随电压变化规律，支持界面与结构特性分析。

9.瞬态热阻测试系统：用于评估器件热响应与热电耦合特性，辅助判断热失效风险。

10.老化应力试验系统：用于实施长时间偏压、电流和温度应力加载，跟踪电学参数随时间的退化行为。