检测项目

1.表面粗糙度分析：测量Ra值范围0.1-10μm，分辨率达0.05nm

2.元素深度分布：检测深度0.1-50μm，元素含量范围0.1%-50%

3.晶格损伤评估：缺陷密度测量精度510/cm

4.界面结合强度：结合力测试范围1-500N/mm

5.溅射产额测定：产额系数0.1-10atoms/ion

检测范围

1.金属合金：钛合金（Ti6Al4V）、镍基高温合金（Inconel718）

2.半导体材料：硅片（掺杂浓度1E14-1E20atoms/cm）、砷化镓外延层

3.陶瓷涂层：氧化铝热障涂层（厚度50-500μm）、氮化硅耐磨层

4.高分子材料：聚酰亚胺薄膜（厚度10-200μm）、PEEK植入物

5.复合材料：碳纤维增强环氧树脂（纤维体积比30-70%）

检测方法

ASTME1122-16：离子束溅射速率标定规程

ISO14606:2015：深度剖面分析校准规范

GB/T28892-2012：表面化学成分分析通则

ASTMF1710-08(2020)：半导体材料溅射产额测试

GB/T38783-2020：耐高温涂层结合强度测定

检测设备

FEIHeliosG4UX双束电镜：30kV加速电压，0.8nm分辨率成像

牛津X-MaxN150能谱仪：元素检测范围B-U，能量分辨率127eV

KLAP-17台阶仪：垂直测量范围100μm，重复精度0.1nm

HidenSIMS工作站：质量分辨率M/ΔM＞20000，检出限0.01ppm

BrukerDektakXT轮廓仪：扫描长度200mm，Z轴分辨率0.01

ThermoFisherScios2FIB：束流稳定性0.5%，最小束斑3nm

ZeissCrossbeam550：集成EDS/EBSD系统，倾斜角度60

UlvacPHI700：Ar+枪能量范围0.5-5keV，溅射速率校准模块

Agilent8500F原子力显微镜：扫描范围90μm90μm，接触模式分辨率0.2nm

ShimadzuEPMA-8050G电子探针：波长色散谱仪，元素分析精度

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

　　以上是与离子轰击浸蚀检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。