检测项目

膜层厚度：测量范围50nm-50μm，精度±1nm（台阶仪法）

元素成分分析：元素含量检测精度0.1at%，深度分辨率≤5nm（XPS）

晶体结构表征：晶格常数测量误差≤0.001Å（XRD）

表面粗糙度：Ra值测量范围0.1-100nm（AFM）

附着力强度：临界载荷测试范围0.1-50N（划痕仪）

检测范围

半导体材料：硅基/碳化硅外延层

光学薄膜：TiO₂/SiO₂多层镀膜

金属涂层：钨/钼耐高温镀层

陶瓷涂层：Al₂O₃/TiN防护镀层

聚合物涂层：聚对二甲苯生物医用镀层

检测方法

ASTM F3093-14 CVD钨膜厚度测试标准

ISO 14707:2015 辉光放电光谱成分分析法

GB/T 16535-2008 化学气相沉积碳化硅涂层检验规范

ISO 26423:2016 CVD金刚石膜摩擦系数测定

GB/T 17359-2012 电子探针显微分析通则

检测设备

台阶仪：KLA Tencor P-7，垂直分辨率0.1Å

X射线光电子能谱仪：Thermo Scientific K-Alpha，单色Al Kα源

高分辨X射线衍射仪：Bruker D8 Discover，Cu靶Kα辐射

原子力显微镜：Bruker Dimension Icon，扫描范围90μm×90μm

纳米压痕仪：Keysight G200，载荷分辨率50nN

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

　　以上是与化学气相沉积检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。