检测项目

电容值精度验证：量程0.1pF-100nF，误差≤±0.5pF

介电常数测定：频率范围1kHz-1MHz，分辨率0.01ε

温度系数测试：-40℃~150℃温控条件下ΔC/ΔT≤±0.05%FS

电极间隙稳定性：长期漂移量＜2nm/24h

动态响应特性：阶跃信号响应时间≤10μs

检测范围

高分子薄膜材料：PET/PI/PTFE等厚度10-500μm

陶瓷基板：Al₂O₃/AlN基板表面粗糙度Ra≤0.1μm

金属镀层：Au/Ag/Cu镀层厚度50nm-5μm

MEMS器件：微结构位移测量范围±200μm

半导体晶圆：表面缺陷检测灵敏度≥0.5μm

检测方法

ASTM D150-18：固体电绝缘材料介电常数测试标准

ISO 2178:2016：非磁性金属基体上涂层厚度测量

GB/T 1409-2006：测量电气绝缘材料介质损耗因数方法

IEC 60250:1969：温度系数测定推荐规程

GB/T 11344-2021：接触式超声波测厚仪校准规范

检测设备

Keysight E4980A精密LCR表：支持4端对测量，基本精度0.05%

Mahr Millimar C1216电容测头系统：分辨率1nm，量程±1mm

Thermotron SM-32C高低温试验箱：温控精度±0.3℃

Polytec MSA-600微系统分析仪：振动测量带宽25MHz

Olympus LEXT OLS5000激光共聚焦显微镜：Z轴分辨率10nm

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

　　以上是与电容式微计检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。