薄膜应力检测

检测项目

残余应力测量：范围±2000MPa，精度±10MPa

热应力分析：温度范围-196℃~1200℃，升降温速率0.1-20℃/min

双轴应力测试：载荷范围0-500N，应变分辨率0.001%

界面剪切强度：测试速度0.01-50mm/min，最大载荷200N

应力松弛特性：持续监测时间0-1000h，数据采集间隔1s-60min

检测范围

光学镀膜：包括增透膜、反射膜等氧化物薄膜

半导体薄膜：硅基氮化硅/氧化硅介质层

金属涂层：物理气相沉积(PVD)硬质涂层

柔性显示膜层：ITO导电膜/PET基材复合结构

生物医用涂层：羟基磷灰石/钛合金基体复合膜

检测方法

X射线衍射法：ASTM F2081, GB/T 31309-2014

曲率半径法：ISO 1893:2018, GB/T 15717-2021

激光干涉法：ASTM E2381-05(2020)

纳米压痕法：ISO 14577-1:2015

拉曼光谱法：GB/T 36053-2018

检测设备

X射线衍射仪：Rigaku SmartLab，配备薄膜应力分析模块

激光干涉仪：Zygo Verifire MST，曲率半径测量精度±0.5%

热机械分析仪：TA Instruments TMA450，温度控制精度±0.1℃

纳米压痕仪：Keysight G200，最大载荷500mN，位移分辨率0.01nm

双轴拉伸试验机：Instron ElectroPuls E10000，频率范围0.001-100Hz

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

以上是与"薄膜应力检测"相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。