检测项目
折射率偏差：测量范围±5×10⁻⁶，分辨率1×10⁻⁷
透射波前畸变：PV值≤λ/10（@632.8nm），RMS≤λ/50
应力双折射：灵敏度0.1nm/cm，测量范围0-50nm/cm
厚度方向折射率梯度：轴向分辨率10μm，梯度精度±2×10⁻⁶/mm
表面面形误差：PV≤0.1λ（@632.8nm），空间频率1-100cycles/mm
内部散射缺陷：可检缺陷尺寸≥5μm@1064nm波长
检测范围
光学玻璃：熔石英、BK7、SF11等牌号玻璃坯料及成型件
晶体材料：氟化钙(CaF₂)、硅(Si)、锗(Ge)等单晶/多晶材料
光学塑料：PMMA、PC、COP等注塑成型光学元件
功能薄膜：AR膜、ITO导电膜、偏光膜等涂层体系
镜头组件：非球面透镜、菲涅尔透镜、复眼透镜阵列
检测方法
干涉测量法：ASTM F529-16透射波前测试方法；GB/T 7962.1-2010无色光学玻璃测试方法
偏光分析法：ISO 10110-2:2023应力双折射测试规范；GB/T 34880-2017光学晶体双折射测量方法
共焦显微法：ISO 14952-3:2018表面粗糙度与内部缺陷关联分析方法
激光散射法：ASTM E2387-19体散射特性标准测试方法
太赫兹时域光谱法：IEC 62607-6-3:2021纳米材料均匀性表征技术规范
检测设备
Zygo GPI-XP/D激光干涉仪：波长632.8nm，孔径Φ300mm，波前测量精度λ/100 PV
Hinds Exicor 150AT双折射测量系统：灵敏度0.005nm延迟量程0-150nm
Tropel UltraScan Pro表面轮廓仪：垂直分辨率0.1nm，横向扫描速度50mm/s
Shimadzu AIM-9000红外散射成像系统：工作波段1-14μm，空间分辨率5μm@3μm波长
Bruker ContourGT-X3白光干涉仪：垂直分辨率0.01nm，最大扫描范围500μm
Thorlabs CFS532共焦位移传感器：轴向分辨率10nm，重复精度±2nm@532nm波长