检测项目

折射率偏差：测量范围±5×10⁻⁶，分辨率1×10⁻⁷

透射波前畸变：PV值≤λ/10（@632.8nm），RMS≤λ/50

应力双折射：灵敏度0.1nm/cm，测量范围0-50nm/cm

厚度方向折射率梯度：轴向分辨率10μm，梯度精度±2×10⁻⁶/mm

表面面形误差：PV≤0.1λ（@632.8nm），空间频率1-100cycles/mm

内部散射缺陷：可检缺陷尺寸≥5μm@1064nm波长

检测范围

光学玻璃：熔石英、BK7、SF11等牌号玻璃坯料及成型件

晶体材料：氟化钙(CaF₂)、硅(Si)、锗(Ge)等单晶/多晶材料

光学塑料：PMMA、PC、COP等注塑成型光学元件

功能薄膜：AR膜、ITO导电膜、偏光膜等涂层体系

镜头组件：非球面透镜、菲涅尔透镜、复眼透镜阵列

检测方法

干涉测量法：ASTM F529-16透射波前测试方法；GB/T 7962.1-2010无色光学玻璃测试方法

偏光分析法：ISO 10110-2:2023应力双折射测试规范；GB/T 34880-2017光学晶体双折射测量方法

共焦显微法：ISO 14952-3:2018表面粗糙度与内部缺陷关联分析方法

激光散射法：ASTM E2387-19体散射特性标准测试方法

太赫兹时域光谱法：IEC 62607-6-3:2021纳米材料均匀性表征技术规范

检测设备

Zygo GPI-XP/D激光干涉仪：波长632.8nm，孔径Φ300mm，波前测量精度λ/100 PV

Hinds Exicor 150AT双折射测量系统：灵敏度0.005nm延迟量程0-150nm

Tropel UltraScan Pro表面轮廓仪：垂直分辨率0.1nm，横向扫描速度50mm/s

Shimadzu AIM-9000红外散射成像系统：工作波段1-14μm，空间分辨率5μm@3μm波长

Bruker ContourGT-X3白光干涉仪：垂直分辨率0.01nm，最大扫描范围500μm

Thorlabs CFS532共焦位移传感器：轴向分辨率10nm，重复精度±2nm@532nm波长