检测项目
透射率检测:波长范围300-2500nm,精度±0.5%
折射率测定:波长覆盖400-1700nm,分辨率±0.0002
色度坐标分析:依据CIE 1931标准,色差ΔE≤0.1
表面粗糙度检测:Ra值范围0.1nm-10μm,重复性±1%
光学均匀性测试:波前畸变≤λ/10@632.8nm
检测范围
光学玻璃:包括透镜、棱镜等透光元件,检测透射率与折射率均匀性
聚合物薄膜:如PET、PC材料,重点分析雾度与色偏
金属镀膜层:测量反射率、膜厚及附着力
半导体晶圆:表面缺陷检测与厚度均匀性分析
光学涂层:AR膜、IR截止膜的光谱特性验证
检测方法
透射率检测:ASTM E903、GB/T 2410
折射率测定:ISO 14782、GB/T 7962.1
色度分析:ISO 11664、GB/T 3979
表面粗糙度:ISO 4287、GB/T 1031
光学均匀性:ISO 10110-4、GB/T 13754
检测设备
分光光度计:PerkinElmer Lambda 950,波长范围175-3300nm
椭偏仪:J.A. Woollam M-2000D,支持0.7-6.5eV光谱分析
干涉仪:ZYGO Verifire HD,精度λ/100 PV值
表面轮廓仪:Bruker ContourGT-X8,垂直分辨率0.01nm
色差计:Konica Minolta CM-3700A,10nm光谱间隔