载流子浓度与迁移率:检测范围1×1017-1×1021 cm-3,误差≤±5%
电阻率分布:测量范围0.1-1000 Ω·cm,四探针法精度±0.5%
晶体结构完整性:XRD半高宽(FWHM)≤0.1°,晶格畸变检测灵敏度0.01%
元素掺杂均匀性:二次离子质谱(SIMS)深度分辨率1 nm,检测限0.1 ppm
热稳定性测试:-196℃至500℃温变循环,热导率测量误差±3%
重掺杂硅基半导体(n+/p+型)
锗基窄带隙简并材料
III-V族化合物(GaAs:Te、InP:Zn)
透明导电氧化物(ITO、AZO)
低维量子结构材料(量子点、纳米线)
电学性能:ASTM F76(霍尔效应)、GB/T 1551(硅单晶电阻率)
结构分析:ISO 20203(XRD定量相分析)、GB/T 18035(晶格参数测定)
成分检测:ISO 15470(XPS表面分析)、GB/T 17359(EDS能谱法)
热学特性:ASTM E1461(激光闪射法)、GB/T 22588(热膨胀系数)
缺陷表征:ISO 21363(TEM位错密度)、GB/T 32282(光致发光谱)
霍尔效应测试系统:Lake Shore 8404,支持0.05-2 T磁场,77-400K变温测试
高分辨X射线衍射仪:Bruker D8 Discover,配备Cu Kα光源(λ=1.5406Å)
飞行时间二次离子质谱:ION-TOF TOF.SIMS 5,质量分辨率m/Δm>17,000
瞬态热导率分析仪:NETZSCH LFA 467,温度范围RT-1000℃,脉冲宽度0.1-1ms
球差校正透射电镜:FEI Titan G2 60-300,点分辨率0.07 nm,STEM模式EELS分析
报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期:7~15工作日,可加急。
资质:旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试:支持定制化试验方案。
售后:报告终身可查,工程师1v1服务。
以上是与"简并半导体检测"相关的简单介绍,具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。