检测项目
电性能参数:静态电流(1nA-100mA)、工作电压(0.8V-5V)、开关速度(1ps-10ns)
热稳定性测试:结温范围(-55℃~200℃)、热阻(0.1~10℃/W)、温度循环次数(1000~5000次)
封装可靠性:焊点剪切力(5~50N)、引线键合强度(0.1~2.0g/mil)、湿度敏感等级(MSL 1~6)
信号完整性:插入损耗(≤3dB@10GHz)、串扰容限(≤-40dB)、眼图抖动(≤0.1UI)
抗辐射性能:总剂量耐受(100krad~1Mrad)、单粒子翻转阈值(10~100MeV·cm²/mg)
检测范围
数字集成电路:CMOS、BiCMOS工艺的逻辑门电路、存储器
模拟集成电路:运算放大器、ADC/DAC转换器
混合信号集成电路:SoC、射频前端模块
功率器件:IGBT、MOSFET、DC-DC转换芯片
特种集成电路:抗辐射加固芯片、MEMS传感器芯片
检测方法
电性能测试:GB/T 17573-1998《半导体器件分立器件和集成电路》、IEC 60749-26:2013
热循环试验:JESD22-A104(温度循环)、GB/T 2423.22-2012(温度冲击)
封装机械强度:ASTM F1269M-11(引线键合)、IPC/JEDEC-9704(跌落测试)
信号完整性分析:IEC 61967-2(辐射发射)、GB/T 17626.12-2013(抗扰度)
辐射效应评估:MIL-STD-883H Method 1019(总剂量)、ASTM F1192-11(单粒子效应)
检测设备
Keysight B1500A半导体参数分析仪:支持0.1fA~1A电流、200V电压精准测量
ThermoStream T-2600温度试验箱:-70℃~+225℃快速温变(60℃/min)
Dage 4000HS推拉力测试机:分辨率0.001N,支持焊球剪切/引线拉力测试
Agilent Infiniium UXR系列示波器:110GHz带宽,256GSa/s采样率
Van der Pauw HL5500霍尔测试系统:电阻率测量精度±0.5%,磁场强度0~2T