检测项目

1.膜层厚度：测量范围0.1nm-100μm，精度1%(如Al₂O₃镀层)

2.均匀性：横向偏差≤5%，纵向梯度≤3%/cm(适用于大面积沉积)

3.附着力强度：划痕法测试临界载荷≥50N(ASTMC1624标准)

4.成分纯度：元素含量偏差≤0.5at%(EDS/XPS分析)

5.孔隙率：单位面积缺陷密度＜10个/cm(金相显微镜观测)

检测范围

1.金属镀层：镍基合金镀层、硬铬镀层等

2.半导体薄膜：硅基氮化硅(Si₃N₄)、氧化铟锡(ITO)薄膜

3.光学涂层：增透膜、反射膜及滤光片多层结构

4.防腐涂层：环氧树脂涂层、聚氨酯复合涂层

5.功能薄膜：石墨烯导电膜、类金刚石(DLC)涂层

检测方法

1.X射线荧光光谱法(XRF)：ASTMB568测定金属镀层厚度

2.台阶仪轮廓法：ISO21994测量薄膜台阶高度

3.划痕测试法：GB/T17722评估膜基结合强度

4.辉光放电光谱(GDOES)：ISO3497分析成分深度分布

5.扫描电镜(SEM)：GB/T16533观测表面形貌及缺陷

检测设备

1.FischerXDV-SDDX射线测厚仪：分辨率0.1nm,支持多元素同步分析

2.BrukerDektakXT轮廓仪：纵向分辨率0.1,扫描长度150mm

3.CSMInstrumentsTriboLab划痕仪：最大载荷200N,声发射同步监测

4.ThermoScientificK-AlphaXPS系统：空间分辨率3μm,探测深度10nm

5.HitachiSU5000场发射电镜：放大倍数1,000,000,EDS附件精度0.1at%

6.HoribaGD-Profiler2光谱仪：深度分辨率2nm,支持ISO3497标准

7.ZeissAxioImager金相显微镜：5000:1对比度,自动孔隙统计功能

8.Agilent5500原子力显微镜：Z轴分辨率0.05nm,三维形貌重建

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

　　以上是与淀积率检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。