检测项目

扫描精度验证：X/Y/Z轴定位误差≤±0.1μm（@20℃）

重复定位精度测试：3σ值≤0.05μm（ISO 9283标准）

动态响应时间测量：阶跃响应≤2ms（10-90%上升时间）

光强均匀性分析：全视场照度偏差≤±1.5%（λ=400-700nm）

波长准确性校准：光谱匹配误差≤±0.5nm（ASTM E275标准）

检测范围

半导体晶圆表面形貌扫描系统

光学透镜波前像差检测装置

光纤布拉格光栅解调设备

液晶显示面板缺陷扫描仪

光伏薄膜厚度测量系统

检测方法

ASTM F534-19：半导体晶圆表面扫描系统校准规范

ISO 10110-7:2017：光学元件激光损伤阈值测试方法

GB/T 18901.1-2021：光纤传感器第1部分：通用技术要求

IEC 61747-30-2:2019：液晶显示器件光电参数测量方法

GB/T 26189-2010：光学三维表面轮廓仪校准规范

检测设备

Keysight N1076B相位噪声分析仪：用于动态响应时间测量（带宽≥50GHz）

Zygo Verifire HD干涉仪：波长精度校准（分辨率0.1nm）

Renishaw XL-80激光干涉仪：定位精度验证（线性测量精度±0.5ppm）

Ocean Insight FX2000光谱辐射计：光强均匀性测试（波长范围200-2500nm）

Bruker ContourGT-X3三维光学轮廓仪：表面形貌分析（垂直分辨率0.1nm）