检测项目

电子密度测量：10⁹-10¹³ cm⁻³量程范围

电子温度分析：0.1-20 eV能量分辨率

离子能量分布：0-500 eV能量带宽

等离子体电位：±50 V测量精度

活性基团浓度：O·/N·/H·等自由基定量检测

检测范围

半导体晶圆刻蚀工艺腔体

磁控溅射镀膜设备等离子区

常压介质阻挡放电装置

微波ECR等离子体发生器

低温等离子体灭菌设备

检测方法

Langmuir探针法：ASTM E3053-16标准

光谱发射法：ISO 21258:2010规范

微波干涉法：GB/T 23414-2009要求

质谱分析法：ASTM E1504-11规程

激光诱导荧光法：ISO 20762:2017标准

检测设备

Hiden ESPion Langmuir探针系统：实时测量电子密度与温度分布

Ocean Optics HR4000高分辨率光谱仪：200-1100nm波长范围光谱采集

Keysight N5247A矢量网络分析仪：2-50GHz微波干涉测量

Hiden EQP 300质谱仪：1-300amu质量数范围粒子分析

TSI 6100激光诱导荧光系统：ArF准分子激光激发荧光信号

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

　　以上是与等离子体诊断检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。