检测项目
1.数据保持能力测试:温度循环(-40℃~125℃),断电状态下数据保留时间≥10年
2.读写速度验证:随机存取时间≤25ns(DRAM),页编程时间≤200μs(NANDFlash)
3.耐久性测试:NANDFlash擦写次数≥10^5cycles(MLC型),NORFlash擦写次数≥10^6cycles
4.功耗特性分析:待机电流≤5μA(1.8V供电),动态电流≤50mA@100MHz
5.信号完整性测试:建立/保持时间余量≥0.5ns,时钟抖动≤10psRMS
检测范围
1.DRAM芯片:包括DDR4/DDR5/LPDDR5等高速动态存储器
2.NANDFlash:涵盖SLC/MLC/TLC/QLC架构及3D堆叠产品
3.NORFlash:主要针对代码存储应用的并行/串行接口器件
4.SRAM模块:高速缓存用6T/8T单元结构存储器
5.新型存储器:ReRAM/PCRAM/MRAM等非易失性存储介质
检测方法
1.JESD22-A117E:数据保持能力加速测试(温度偏压法)
2.JESD22-A105B:耐久性循环测试(温度-电压复合应力)
3.GB/T15878-2021:半导体存储器电参数测试方法规范
4.ISO26262-8:2018:汽车级存储器件功能安全验证
5.ASTMF1249-20:非易失性存储器数据保持特性评估
检测设备
1.KeysightB1500A半导体参数分析仪:支持pA级漏电流测量及IV/CV特性分析
2.AdvantestT5830存储测试系统:最高支持8通道并行测试,速率达3200MT/s
3.ThermoStreamT-2600温度冲击箱:-70℃~+225℃温变速率>60℃/min
4.TektronixMSO68B示波器:8GHz带宽用于时序参数测量
5.Chroma33622A电源模拟器:输出纹波<1mVpp的精密供电系统
6.XeltekSuperPro6100编程器:支持NANDFlash坏块管理算法验证
7.ESPECSH-642湿热试验箱:湿度控制精度2%RH(10%~98%RH)
8.AgilentN6705B模块化电源系统:多路独立电源同步控制功能
9.FlukeTi450红外热像仪:空间分辨率≤1.1mrad的芯片发热分析
10.CascadeSummit12000探针台:支持300mm晶圆级参数测试