检测项目
1.热导率测试:测量范围20-300W/(mK),采用激光闪射法测定稳态传热性能。
2.抗弯强度测试:三点弯曲法加载至断裂,载荷范围0-10kN,精度0.5%FS。
3.介电常数与损耗角正切:频率1MHz-10GHz下测定介电常数(εr)6.5-8.5,损耗≤0.001。
4.微观结构分析:扫描电镜(SEM)观察晶粒尺寸(0.5-5μm)及孔隙率(≤0.5%)。
5.化学成分检测:X射线荧光光谱(XRF)定量AlN纯度≥99%,氧含量≤1.0wt%。
检测范围
1.电子封装用氮化铝陶瓷基板:厚度0.2-3.0mm,表面粗糙度Ra≤0.1μm。
2.高功率LED散热片:热膨胀系数4.5-5.510-6/K(RT-400℃)。
3.微波射频器件介质材料:介电常数偏差0.2以内。
4.高温结构陶瓷部件:维氏硬度≥12GPa(载荷9.8N)。
5.薄膜涂层材料:厚度10-200μm结合强度≥30MPa。
检测方法
1.热导率测试:ASTME1461激光闪射法;GB/T22588闪光法。
2.力学性能测试:ISO14704三点弯曲试验;GB/T6569-2006陶瓷抗弯强度测定。
3.介电性能测试:IEC61189-3高频谐振腔法;GB/T1409-2006介质损耗测量。
4.微观形貌分析:ISO13322-1扫描电镜标准;GB/T16594-2008纳米颗粒尺寸测定。
5.化学成分分析:JISR1634XRF法;GB/T17473.7-2008电子材料杂质含量规范。
检测设备
1.LFA467HyperFlash激光导热仪:温度范围-120~500℃,精度3%.
2.Instron5967万能材料试验机:最大载荷50kN,位移分辨率0.001mm.
3.AgilentN5247A矢量网络分析仪:频率10MHz-67GHz介电性能测试.
4.HitachiSU8010场发射扫描电镜:分辨率1nm@15kV.
5.BrukerS8TIGERX射线荧光光谱仪:元素分析范围B-U.
6.NetzschDIL402C热膨胀仪:膨胀系数测量精度0.110-6/K.
7.MitutoyoHM-200显微硬度计:载荷范围10gf~2kgf.
8.KeysightE4990A阻抗分析仪:LCR测量频率20Hz~120MHz.
9.MalvernMastersizer3000激光粒度仪:粒径测量范围0.01~3500μm.
10.PerkinElmerSTA8000同步热分析仪:TG-DSC同步测量精度0.1μg.