沉积速率检测

检测项目

1.薄膜厚度测定：分辨率0.1nm~100μm范围

2.沉积速率计算：时间分辨率0.01s

3.表面均匀性分析：二维分布偏差≤2%

4.结晶度表征：XRD半峰宽测量精度0.01

5.表面粗糙度检测：Ra值测量范围0.01~10μm

检测范围

1.金属薄膜：铝/铜/镍基真空镀层

2.半导体材料：硅基外延层/氮化镓薄膜

3.陶瓷涂层：氧化铝/氮化钛热障涂层

4.高分子聚合物：PVD/PECVD沉积膜层

5.地质沉积物：海洋/湖泊沉积岩芯样本

检测方法

ASTMB748-90(2016)：电阻法测量金属镀层厚度

ISO2178:2016：磁性法非铁基镀层测厚规范

GB/T4956-2003：磁性基体非磁性覆盖层测厚

ASTMF1526-95(2021)：椭偏仪测量透明薄膜厚度

GB5237.5-2008：铝合金阳极氧化膜测厚规程

ISO1463:2021：金相显微镜截面测量法

检测设备

1.KLA-TencorP-7Profiler：台阶仪测量0.1nm~1mm膜厚

2.BrukerDektakXT：触针式轮廓仪支持3D形貌重建

3.FilmetricsF20-UV：宽谱椭偏仪适用10nm~350μm测量

4.OlympusLEXTOLS5000：激光共聚焦显微镜0.01nm纵向分辨率

5.ThermoFisherARLEQUINOX100：XRD衍射仪分析晶体结构

6.ZeissSigma500：场发射电镜实现纳米级截面观测

7.KeyenceVK-X1000：3D激光显微系统支持粗糙度分析

8.FischerscopeXDL-B：β射线背散射镀层测厚仪

9.Agilent5500AFM：原子力显微镜表面形貌表征

10.PerkinElmerLambda1050+：紫外可见分光光度计膜厚测量

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

以上是与"沉积速率检测"相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检检测技术研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。