检测项目
1.元素含量分析：检测范围0.1ppm-100%，分辨率≤0.01%
2.表面形貌表征：纵向分辨率10nm，横向扫描精度0.5μm
3.晶体结构解析：晶格常数测量误差≤0.002
4.层厚测量：薄膜厚度检测范围5nm-500μm
5.缺陷检测：最小可识别缺陷尺寸0.1μm
检测范围
1.金属材料：铝合金/钛合金/高温合金的夹杂物分析
2.半导体器件：硅晶圆掺杂浓度分布检测
3.陶瓷材料：氧化锆/碳化硅相变过程监测
4.生物医学材料：人工关节涂层成分分析
5.环境样品：大气颗粒物重金属元素溯源
检测方法
ASTME1508-12激光诱导击穿光谱标准测试方法
ISO21258:2010固定源排放-氮氧化物测定方法
GB/T17359-2023微束分析能谱法定量分析通则
GB/T35033-2018表面化学分析X射线光电子能谱分析方法通则
ISO22309:2011微束分析-能谱法定量分析标准
检测设备
1.ThermoScientificiCAPPro：全谱直读ICP-OES系统，波长范围166-847nm
2.BrukerTracer5g：手持式XRF分析仪，可测元素Mg-U
3.HoribaLabRAMHREvolution：532nm激光拉曼光谱仪，分辨率0.35cm⁻
4.ShimadzuEPMA-8050G：电子探针显微分析仪，束斑直径0.1μm
5.PerkinElmerNexION5000：四极杆ICP-MS系统，检出限≤ppt级
6.ZEISSCrossbeam550：FIB-SEM联用系统，定位精度2nm
7.Agilent8900：三重四极杆ICP-MS/MS系统，质量分辨率0.3amu
8.JEOLJXA-8530F：场发射电子探针，加速电压0.1-30kV
9.MalvernPanalyticalEpsilon4：偏振能量色散XRF光谱仪
10.OxfordInstrumentsAZtecWave：激光剥蚀联用系统，脉冲频率1-20Hz