激光探针质量分析仪检测

检测项目

1.元素含量分析：检测范围0.1ppm-100%，分辨率≤0.01%

2.表面形貌表征：纵向分辨率10nm，横向扫描精度0.5μm

3.晶体结构解析：晶格常数测量误差≤0.002

4.层厚测量：薄膜厚度检测范围5nm-500μm

5.缺陷检测：最小可识别缺陷尺寸0.1μm

检测范围

1.金属材料：铝合金/钛合金/高温合金的夹杂物分析

2.半导体器件：硅晶圆掺杂浓度分布检测

3.陶瓷材料：氧化锆/碳化硅相变过程监测

4.生物医学材料：人工关节涂层成分分析

5.环境样品：大气颗粒物重金属元素溯源

检测方法

ASTME1508-12激光诱导击穿光谱标准测试方法

ISO21258:2010固定源排放-氮氧化物测定方法

GB/T17359-2023微束分析能谱法定量分析通则

GB/T35033-2018表面化学分析X射线光电子能谱分析方法通则

ISO22309:2011微束分析-能谱法定量分析标准

检测设备

1.ThermoScientificiCAPPro：全谱直读ICP-OES系统，波长范围166-847nm

2.BrukerTracer5g：手持式XRF分析仪，可测元素Mg-U

3.HoribaLabRAMHREvolution：532nm激光拉曼光谱仪，分辨率0.35cm⁻

4.ShimadzuEPMA-8050G：电子探针显微分析仪，束斑直径0.1μm

5.PerkinElmerNexION5000：四极杆ICP-MS系统，检出限≤ppt级

6.ZEISSCrossbeam550：FIB-SEM联用系统，定位精度2nm

7.Agilent8900：三重四极杆ICP-MS/MS系统，质量分辨率0.3amu

8.JEOLJXA-8530F：场发射电子探针，加速电压0.1-30kV

9.MalvernPanalyticalEpsilon4：偏振能量色散XRF光谱仪

10.OxfordInstrumentsAZtecWave：激光剥蚀联用系统，脉冲频率1-20Hz

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

以上是与"激光探针质量分析仪检测"相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检检测技术研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。