检测项目
1.晶面间距测定:测量范围0.1-10nm,精度0.0005nm
2.晶格常数计算:立方/六方/四方晶系误差≤0.002
3.晶体取向分析:欧拉角测量精度0.1
4.缺陷密度评估:位错密度检测下限10^6cm^-2
5.相组成分析:多相体系定量误差≤1wt%
6.织构系数测定:ODF分析最大阶数L=22
检测范围
1.金属材料:铝合金(AA2024)、钛合金(TC4)、高温合金(Inconel718)
2.半导体材料:单晶硅(111)/(100)、GaN外延层、SiC衬底
3.陶瓷材料:氧化铝(α-Al2O3)、氮化硅(Si3N4)、压电陶瓷(PZT-5H)
4.高分子材料:聚乙烯(PE)球晶、聚丙烯(PP)β晶型
5.复合材料:碳纤维/环氧树脂层合板、金属基复合材料(Al/SiC)
检测方法
1.X射线衍射法:ASTME975(残余应力)、GB/T23413-2009(纳米晶表征)
2.电子背散射衍射:ISO24173:2009(取向分析)、GB/T38885-2020(微区织构)
3.透射电子显微镜:ASTMF1877-2016(选区衍射)、GB/T15244-2017(缺陷分析)
4.中子衍射法:ISO21484:2018(大体积样品)、GB/T38976-2020(残余应力)
5.同步辐射技术:ISO/TS21432:2021(高分辨测量)、GB/T41123-2021(动态过程)
检测设备
1.X射线衍射仪:PANalyticalEmpyrean(全谱扫描+应力附件)
2.EBSD系统:OxfordInstrumentsSymmetryS2(全自动标定+高速采集)
3.TEM设备:JEOLJEM-ARM300F(原子级分辨率+STEM模式)
4.X射线应力仪:ProtoLXRD(便携式现场检测)
5.中子衍射仪:HeliosNRU(大工件三维应力测绘)
6.同步辐射装置:上海光源BL14B1(微束衍射+原位表征)
7.XRD附件系统:AntonPaarDHS1100(高温原位测试)
8.EBSD探测器:EDAXVelocitySuper(4000点/秒采集速率)
9.XRD分析软件:BrukerTOPASV6(全谱拟合+Rietveld精修)
10.TEM样品制备仪:FischioneModel1061(离子减薄+低损伤处理)