检测项目
1.表面元素组成分析：检出限0.1at%，测量精度0.5at%
2.化学价态表征：结合能分辨率0.05eV
3.深度剖面分析：纵向分辨率≤2nm@100nm深度
4.界面扩散系数测定：灵敏度10^18atoms/cm
5.污染物定量检测：最低检出浓度0.01μg/cm
6.薄膜厚度测量：量程1-500nm，误差0.8nm
检测范围
1.半导体材料：硅片、GaAs、氮化镓等III-V族化合物
2.金属合金：钛合金表面氧化层、不锈钢钝化膜
3.高分子材料：聚合物表面改性层、医用高分子涂层
4.生物医学材料：骨植入物羟基磷灰石涂层、药物载体表面修饰层
5.环境污染物：PM2.5颗粒物成分分析、工业催化剂失活层
检测方法
1.ISO18118:2015《表面化学分析-俄歇电子能谱和X射线光电子能谱》
2.ASTME1523-15《深度剖析中溅射速率测定的标准指南》
3.GB/T19502-2004《表面化学分析-X射线光电子能谱仪能量标尺的校准》
4.ISO20903:2019《表面化学分析-俄歇电子能谱和X射线光电子能谱的重复性和一致性测量》
5.GB/T28894-2012《表面化学分析-俄歇电子能谱和X射线光电子能谱横向分辨率的测定》
检测设备
1.ThermoScientificESCALABXi+：配备单色化AlKα源（1486.6eV），能量分辨率≤0.45eV
2.ULVAC-PHIQuanteraII：多模式XPS系统，带C60团簇离子枪（深度剖析）
3.SPECSPHOIBOS150：半球型能量分析器，角度分辨模式80可调
4.KratosAXISSupra：集成反射电子能量损失谱（REELS）模块
5.HidenAnalyticalSIMSWorkstation：配备三重四极杆质谱仪（检出限10^12atoms/cm）
6.CamecaIMS7f-Auto：磁扇形二次离子质谱仪（质量分辨率M/ΔM≥20,000）
7.BrukerDimensionFastScanAFM：原子力显微镜联用系统（扫描范围90μm）
8.OxfordInstrumentsINCAEnergy350：能谱仪（元素分析范围Be-Pu）
9.Agilent8900ICP-MS/MS：三重四极杆电感耦合等离子体质谱联用系统
10.JEOLJAMP-9500F：场发射俄歇微探针（电子束直径<6nm）