离子中和谱学检测

检测项目

1.表面元素组成分析：检出限0.1at%，测量精度0.5at%

2.化学价态表征：结合能分辨率0.05eV

3.深度剖面分析：纵向分辨率≤2nm@100nm深度

4.界面扩散系数测定：灵敏度10^18atoms/cm

5.污染物定量检测：最低检出浓度0.01μg/cm

6.薄膜厚度测量：量程1-500nm，误差0.8nm

检测范围

1.半导体材料：硅片、GaAs、氮化镓等III-V族化合物

2.金属合金：钛合金表面氧化层、不锈钢钝化膜

3.高分子材料：聚合物表面改性层、医用高分子涂层

4.生物医学材料：骨植入物羟基磷灰石涂层、药物载体表面修饰层

5.环境污染物：PM2.5颗粒物成分分析、工业催化剂失活层

检测方法

1.ISO18118:2015《表面化学分析-俄歇电子能谱和X射线光电子能谱》

2.ASTME1523-15《深度剖析中溅射速率测定的标准指南》

3.GB/T19502-2004《表面化学分析-X射线光电子能谱仪能量标尺的校准》

4.ISO20903:2019《表面化学分析-俄歇电子能谱和X射线光电子能谱的重复性和一致性测量》

5.GB/T28894-2012《表面化学分析-俄歇电子能谱和X射线光电子能谱横向分辨率的测定》

检测设备

1.ThermoScientificESCALABXi+：配备单色化AlKα源（1486.6eV），能量分辨率≤0.45eV

2.ULVAC-PHIQuanteraII：多模式XPS系统，带C60团簇离子枪（深度剖析）

3.SPECSPHOIBOS150：半球型能量分析器，角度分辨模式80可调

4.KratosAXISSupra：集成反射电子能量损失谱（REELS）模块

5.HidenAnalyticalSIMSWorkstation：配备三重四极杆质谱仪（检出限10^12atoms/cm）

6.CamecaIMS7f-Auto：磁扇形二次离子质谱仪（质量分辨率M/ΔM≥20,000）

7.BrukerDimensionFastScanAFM：原子力显微镜联用系统（扫描范围90μm）

8.OxfordInstrumentsINCAEnergy350：能谱仪（元素分析范围Be-Pu）

9.Agilent8900ICP-MS/MS：三重四极杆电感耦合等离子体质谱联用系统

10.JEOLJAMP-9500F：场发射俄歇微探针（电子束直径<6nm）

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

以上是与"离子中和谱学检测"相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检检测技术研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。