检测项目

1.表面粗糙度：Ra0.1-100nm范围内三维形貌测量

2.曲率半径：R值测量精度0.05%，量程5mm-2000mm

3.平面度误差：PV值检测分辨率0.3λ（λ=632.8nm）

4.微结构高度：台阶测量范围10nm-50μm，重复性0.8nm

5.波前畸变：Zernike系数分析至36项，RMS值精度0.005λ

检测范围

1.光学元件：包括透镜、棱镜、反射镜等玻璃/晶体材料制品

2.MEMS器件：微机电系统表面结构及运动特性分析

3.半导体晶圆：硅片表面平整度与纳米级缺陷检测

4.金属镀膜：硬质涂层厚度（0.1-50μm）及结合强度评估

5.生物医学材料：人工晶体表面特性及植入物微观形貌表征

检测方法

ASTMF1811-2018光学元件表面形貌干涉测量标准

ISO10110-5:2015光学系统表面缺陷公差规范

GB/T13323-2009光学零件表面粗糙度测试方法

ISO25178-604:2013非接触式三维表面测量系统校准

GB/T34879-2017微机电系统(MEMS)表面特性测量规范

检测设备

1.ZygoVerifireMST+：配置632.8nm氦氖激光源，垂直分辨率0.1nm

2.TaylorHobsonCCIHD：白光干涉仪，最大扫描范围2020mm

3.BrukerContourGT-X3：振动隔离系统支持100Hz环境振动下稳定工作

4.MitakaNH-3SN：纳米级非接触式轮廓仪，Z轴重复性0.5nm

5.OlympusLEXTOLS5000：激光共聚焦显微镜搭配405nm激光器

6.KeyenceVK-X3000：多波长干涉系统支持透明材料测量

7.SensofarSneox：三维光学轮廓仪配备60/150双物镜系统

8.NikonNEXIVVM-300S：视频测量系统集成自动对焦模块

9.PanasonicUA3P：超高精度三维轮廓仪（分辨率0.01nm）

10.AliconaInfiniteFocusG5：变焦光学系统支持0.01-20mm景深调节