检测项目

1. 表面元素定性分析：能量范围0-2000 eV，束流3-10 nA，检出限0.1-1 at.%

2. 深度剖析：溅射速率0.1-50 nm/min（Ar+离子枪），深度分辨率≤5 nm

3. 元素面分布成像：空间分辨率≤10 nm（场发射电子枪），扫描步长0.1-100 μm

4. 化学态分析：能量分辨率≤0.5 eV（半球分析器），步长0.1 eV

5. 界面污染检测：检出限≤1×10¹² atoms/cm²（低能电子衍射模式）

检测范围

1. 半导体材料：硅基芯片、GaAs器件、ITO导电膜

2. 金属及合金：不锈钢钝化层、铝合金氧化膜、钛合金表面改性层

3. 薄膜涂层：PVD/CVD硬质涂层、光伏薄膜、防腐蚀镀层

4. 纳米材料：量子点表面修饰层、纳米颗粒团聚界面

5. 高分子材料：聚合物表面接枝改性层、生物医用涂层

检测方法

ASTM E827-20《俄歇电子能谱定性分析标准规程》

ISO 18118:2015《表面化学分析-俄歇电子能谱定量分析》

GB/T 26533-2011《俄歇电子能谱分析方法通则》

ISO 20903:2019《表面化学分析-俄歇电子能谱深度剖析》

GB/T 35099-2018《微束分析-俄歇电子能谱元素面分布分析方法》

检测设备

1. Thermo Fisher PHI 700Xi：配备同轴电子枪（空间分辨率6 nm）和16通道探测器

2. ULVAC-PHI SAM-670：集成FIB-SEM-AES联用系统（深度剖析精度±0.3 nm）

3. SPECS FlexAES：多模式分析系统（含角分辨AES功能）

4. JEOL JAMP-9500F：场发射型AES（束斑直径＜5 nm@10 kV）

5. Omicron NanoSAM：超高真空系统（基础真空≤5×10⁻¹⁰ mbar）

6. Kratos AXIS Supra+：同步辐射兼容型AES（能量分辨率0.25 eV）

7. Scienta Omicron DA30-L：双束溅射系统（Ar+/C60+复合离子源）

8. RBD Instruments 9100A：快速成像AES（每秒采集＞1000个谱点）

9. STAIB Instruments DESA100：差分抽气系统（支持大气压样品转移）

10. HORIBA AES-7000：全自动多样品台（最大承载12个样品）

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

　　以上是与俄歇电子能谱仪检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。